МОЦВД Аццептор

Као произвођач ЦВД СиЦ премаза, ВеТек Семицондуцтор жели да вам обезбеди Аиктрон Г5 МОЦВД сусцепторе који су направљени од графита високе чистоће и ЦВД СиЦ премаза (испод 5ппм).

Добродошли да нас распитате.

Микро ЛЕД технологија нарушава постојећи ЛЕД екосистем методама и приступима који су до сада били виђени само у индустрији ЛЦД или полупроводника, а Аиктрон Г5 МОЦВД систем савршено подржава ове строге захтеве за проширење. Аиктрон Г5 је моћан МОЦВД реактор дизајниран првенствено за раст ГаН епитаксије на бази силицијума.

Неопходно је да све произведене епитаксијалне плочице имају веома чврсту дистрибуцију таласних дужина и веома низак ниво површинских дефекта, што захтева иновативну МОЦВД технологију.

Аиктрон Г5 је хоризонтални планетарни систем за епитаксију диска, углавном планетарни диск, МОЦВД суцептор, покривни прстен, плафон, потпорни прстен, поклопац диска, издувни колектор, игла за прање, улазни прстен колектора, итд., Главни материјали производа су ЦВД СиЦ премаз + графит високе чистоће, полупроводнички кварц, ЦВД ТаЦ премаз + графит високе чистоће, крути филц и други материјали.

Карактеристике МОЦВД сусцептора су следеће:

Заштита основног материјала: ЦВД СиЦ премаз делује као заштитни слој у епитаксијалном процесу, који може ефикасно спречити ерозију и оштећење спољашњег окружења основног материјала, обезбедити поуздане заштитне мере и продужити век трајања опреме.

Одлична топлотна проводљивост: ЦВД СиЦ премаз има одличну топлотну проводљивост и може брзо пренети топлоту са основног материјала на површину премаза, побољшавајући ефикасност управљања топлотом током епитаксије и осигуравајући да опрема ради у одговарајућем температурном опсегу.

Побољшајте квалитет филма: ЦВД СиЦ премаз може да обезбеди равну, уједначену површину, пружајући добру основу за раст филма. Може смањити дефекте узроковане неусклађеношћу решетке, побољшати кристалност и квалитет филма и на тај начин побољшати перформансе и поузданост епитаксијалног филма.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Индустријски ланац:

Производна радња