Кина Чврсти силицијум карбид Мануфацтурер, Супплиер, Фацтори

ВеТек Семицондуцтор Солид Силицон Царбиде је важна керамичка компонента у опреми за плазма гравирање, чврсти силицијум карбид (ЦВД силицијум карбид) делови у опреми за бакропис укључујупрстенови за фокусирање, гасни туш, посуда, ивични прстенови, итд. Због ниске реактивности и проводљивости чврстог силицијум карбида (ЦВД силицијум карбида) према гасовима за нагризање који садрже хлор и флуор, идеалан је материјал за опрему за плазма јеткање, прстенове за фокусирање и друге компоненте.

На пример, фокусни прстен је важан део постављен изван плочице и у директном контакту са плочицом, применом напона на прстен за фокусирање плазме која пролази кроз прстен, чиме се плазма фокусира на плочицу како би се побољшала униформност обрада. Традиционални фокусни прстен је направљен од силикона иликварц, проводни силицијум као уобичајени материјал фокусног прстена, скоро је близу проводљивости силицијумских плочица, али недостатак је лоша отпорност на нагризање у плазми која садржи флуор, материјали за делове машина за гравирање који се често користе у одређеном временском периоду, биће озбиљних појава корозије, што озбиљно смањује његову ефикасност производње.

Sчврсти СиЦ фокусни прстенПринцип рада：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Поређење прстена за фокусирање на бази Си и ЦВД СиЦ прстена за фокусирање:

Поређење прстена за фокусирање на бази Си и ЦВД СиЦ прстена за фокусирање
Ставка	И	ЦВД СиЦ
Густина (г/цм³)	2.33	3.21
Појасни размак (еВ)	1.12	2.3
Топлотна проводљивост (В/цм℃)	1.5	5
ЦТЕ (к10^-6/℃)	2.6	4
Модул еластичности (ГПа)	150	440
Тврдоћа (ГПа)	11.4	24.5
Отпорност на хабање и корозију	Јадно	Одлично

ВеТек Семицондуцтор нуди напредне делове од чврстог силицијум карбида (ЦВД силицијум карбида) као што су СиЦ прстенови за фокусирање за полупроводничку опрему. Наши чврсти прстенови за фокусирање од силицијум карбида надмашују традиционални силицијум у погледу механичке чврстоће, хемијске отпорности, топлотне проводљивости, издржљивости на високим температурама и отпорности на јонско нагризање.

Кључне карактеристике наших СиЦ прстенова за фокусирање укључују:

Висока густина за смањене стопе јеткања.

Одлична изолација са великим размаком појаса.

Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења.

Врхунска отпорност на механичке ударе и еластичност.

Висока тврдоћа, отпорност на хабање и отпорност на корозију.

Произведено коришћењемхемијско таложење испареним путем плазмом (ПЕЦВД)технике, наши СиЦ прстенови за фокусирање испуњавају све веће захтеве процеса јеткања у производњи полупроводника. Дизајнирани су да издрже већу снагу и енергију плазме, посебно укапацитивно спрегнута плазма (ЦЦП)система.

ВеТек Семицондуцтор-ови СиЦ прстенови за фокусирање пружају изузетне перформансе и поузданост у производњи полупроводничких уређаја. Изаберите наше СиЦ компоненте за врхунски квалитет и ефикасност.

View as

Глава за туширање од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач производа за туш главе од силицијум карбида у Кини. СиЦ туш глава има одличну толеранцију на високе температуре, хемијску стабилност, топлотну проводљивост и добре перформансе дистрибуције гаса, што може постићи уједначену дистрибуцију гаса и побољшати квалитет филма. Због тога се обично користи у процесима на високим температурама као што су хемијско таложење паре (ЦВД) или физичко таложење паре (ПВД). Добродошли на ваше даље консултације.

Опширније Пошаљи упит

Заптивни прстен од силицијум карбида

Као професионални произвођач и фабрика производа за заптивне прстенове од силицијум карбида у Кини, ВеТек Семицондуцтор Силицијум карбидни заптивни прстен се широко користи у опреми за обраду полупроводника због своје одличне отпорности на топлоту, отпорности на корозију, механичке чврстоће и топлотне проводљивости. Посебно је погодан за процесе који укључују високе температуре и реактивне гасове као што су ЦВД, ПВД и плазма јеткање, и представља кључни избор материјала у процесу производње полупроводника. Ваша даља питања су добродошла.

Опширније Пошаљи упит

ЦВД СиЦ блок за раст кристала СиЦ

ВеТек Семицондуцтор се фокусира на истраживање и развој и индустријализацију ЦВД-СиЦ извора, ЦВД СиЦ премаза и ЦВД ТаЦ премаза. Узимајући ЦВД СиЦ блок за раст кристала СиЦ као пример, технологија обраде производа је напредна, брзина раста је брза, отпорност на високе температуре и отпорност на корозију су јаке. Добродошли на упит.

Опширније Пошаљи упит

СиЦ Цристал Гровтх Нова технологија

Ветек Семицондуцтор-ов силицијум карбид ултра-високе чистоће (СиЦ) формиран хемијским таложењем из паре (ЦВД) може се користити као изворни материјал за узгој кристала силицијум карбида физичким транспортом паре (ПВТ). У новој технологији раста кристала СиЦ, изворни материјал се ставља у лончић и сублимира на кристал за семе. Користите одбачене ЦВД-СиЦ блокове да рециклирате материјал као извор за узгој кристала СиЦ. Добродошли да успоставите партнерство са нама.

Опширније Пошаљи упит

ЦВД СиЦ глава за туширање

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор ЦВД СиЦ туш глава у Кини. Специјализовани смо за СиЦ материјал дуги низ година. ЦВД СиЦ глава за туширање је изабрана као материјал за прстен за фокусирање због своје одличне термохемијске стабилности, високе механичке чврстоће и отпорности на ерозија плазме. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Опширније Пошаљи упит

СиЦ туш глава

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор СиЦ туш глава у Кини. Специјализовани смо за СиЦ материјал дуги низ година. СиЦ глава за туширање је изабрана као материјал за прстен за фокусирање због своје одличне термохемијске стабилности, високе механичке чврстоће и отпорности на ерозију плазме .Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Опширније Пошаљи упит

<1 2 >

Као професионални Чврсти силицијум карбид произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Било да су вам потребне прилагођене услуге да бисте задовољили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Чврсти силицијум карбид произведене у Кини, можете нам оставити поруку.