ВеТек Семицондуцтор'с ПСС Етцхинг Царриер Плате фор Семицондуцтор је висококвалитетан, ултра чист графитни носач дизајниран за процесе руковања плочицама. Наши носачи имају одличне перформансе и могу добро да раде у тешким окружењима, високим температурама и тешким условима хемијског чишћења. Наши производи се широко користе на многим европским и америчким тржиштима и радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Као професионални произвођач, желели бисмо да вам пружимо висококвалитетне ПСС плоче за јеткање за полупроводнике. ВеТек Семицондуцтор'с ПСС Етцхинг Царриер Плате фор Семицондуцтор је специјализована компонента која се користи у индустрији полупроводника за процес јеткања спектроскопијом извора плазме (ПСС). Ова плоча игра кључну улогу у подржавању и ношењу полупроводничких плочица током процеса гравирања. Добро дошли да нас питате!
Прецизан дизајн: Носећа плоча је пројектована са прецизним димензијама и равношћу површине како би се обезбедило уједначено и доследно нагризање преко полупроводничких плоча. Обезбеђује стабилну и контролисану платформу за плочице, омогућавајући тачне и поуздане резултате јеткања.
Отпорност на плазму: Носећа плоча показује одличну отпорност на плазму која се користи у процесу јеткања. Остаје без утицаја реактивних гасова и високоенергетске плазме, обезбеђујући продужени радни век и доследне перформансе.
Топлотна проводљивост: Носећа плоча има високу топлотну проводљивост за ефикасно расипање топлоте која се ствара током процеса нагризања. Ово помаже у одржавању оптималне контроле температуре и спречава прегревање полупроводничких плочица.
Компатибилност: ПСС Етцхинг Царриер Плате је дизајнирана да буде компатибилна са различитим величинама полупроводничких плочица које се обично користе у индустрији, обезбеђујући свестраност и лакоћу употребе у различитим производним процесима.
Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке | |
Имовина | Типична вредност |
Кристална структура | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
Густина | 3,21 г/цм³ |
Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
Величине зрна | 2~10μм |
Хемијска чистоћа | 99,99995% |
Топлотни капацитет | 640 Ј·кг-1·К-1 |
Сублиматион Температуре | 2700℃ |
Отпорност на савијање | 415 МПа РТ 4 тачке |
Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
Топлотна проводљивост | 300В·м-1·К-1 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6К-1 |