Полупроводничка керамичка млазница

Полупроводничка керамичка млазница игра важну улогу уХДП-ЦВД процес, који се користи за прецизну контролу протока гаса и обезбеђивањевисококвалитетно таложење филма. Керамичка млазница спреја је прецизно пројектована да обезбеди конзистентне и контролисане брзине протока гаса, минимизирајући могућу турбуленцију када гас уђе у реакциону комору.

Техничке спецификације:

1.Материал Цомпоситион:

ВеТеК Семицондуцтор Керамичке млазнице за пескарење се обично праве од полупроводничке керамике као што је алуминијум оксид (Ал2О3),силицијум карбид (СиЦ)или цирконијум оксид (ЗрО2), ови материјали имају одлична својства:

    • висока термичка стабилност (може издржати температуре изнад 1000℃)

    • отпорност на корозију реактивним гасовима који се користе уЦВД процеси(као што су силан, амонијак)

    • отпорност на континуирано излагање плазми.

2. Пројектовање конструкција:

    • Величина отвора: Отвор полупроводничке керамичке млазнице је научно дизајниран да омогући прецизну контролу протока гаса, што заузврат утиче на униформност и дебљину филма.

    • Углови и геометрије: Прецизно дизајнирани да обезбеде равномерну дистрибуцију гаса по подлози, минимизирајући дефекте у нанесеном слоју.

У индустрији полупроводника, полупроводничке керамичке млазнице играју кључну улогу првенствено у ХДП-ЦВД процесу. Такође се користе за таложење танких филмова за производњу микроелектронике, обезбеђујући висококвалитетне површинске премазе који су уједначени и без загађивача.

ВеТеК Семицондуцтор Керамичке млазнице продавнице: