Глава туша са чврстим СиЦ гасом

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор главе за туширање са чврстим СиЦ гасом у Кини. Специјализовани смо за полупроводничке материјале дуги низ година. ВеТек Семицондуцтор Солид СиЦ Гас Сховер Хеад дизајн са више порозности обезбеђује да се топлота која се генерише у ЦВД процесу може дисперговати , осигуравајући да се супстрат загрева равномерно. Радујемо се постављању дугорочног са вама у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Глава туша са чврстим СиЦ гасом

ВеТек Семицондуцтор је интегрисана компанија посвећена истраживању, производњи и продаји. Са преко 20 година искуства, наш тим је специјализован за СиЦ, ТаЦ премазе и ЦВД чврсти СиЦ. Добродошли да купите од нас Солид СиЦ Гас Сховер Хеад.

ВеТек Семицондуцтор Солид СиЦ Гас Сховер Хеад се обично користи за равномерну дистрибуцију прекурсора гасова на површину супстрата током ЦВД процеса полупроводника. Коришћење ЦВД-СиЦ материјала за туш главе нуди неколико предности. Његова висока топлотна проводљивост помаже у расипању топлоте која се ствара у ЦВД процесу, обезбеђујући равномерну дистрибуцију температуре на подлози. Поред тога, хемијска стабилност главе туша ЦВД сиц омогућава јој да издржи корозивне гасове и оштра окружења која се обично срећу у ЦВД процесима.

Дизајн ЦВД СиЦ туш глава може се прилагодити специфичним ЦВД системима и захтевима процеса. Међутим, они се обично састоје од плоче или компоненте у облику диска са низом прецизно избушених рупа или прореза. Шаблон и геометрија рупа су пажљиво дизајнирани да обезбеде равномерну дистрибуцију гаса и брзину протока преко површине подлоге.

Физичка својства чврстог СиЦ

Физичка својства чврстог СиЦ
Густина	3.21	г/цм3
Отпорност електричне енергије	102	Ω/цм
Флекурал Стренгтх	590	МПа	(6000 кгф/цм²)
Иоунгов модул	450	ГПа	(6000 кгф/мм²)
Вицкерс Харднесс	26	ГПа	(2650 кгф/мм²)
Ц.Т.Е. (РТ-1000℃)	4.0	к10^-6/К
Топлотна проводљивост (РТ)	250	В/мК