Део полумесеца обложен тантал карбидом за ЛПЕ

ВеТек Семицондуцтор је полумесечни део обложен тантал карбидом великих размера за произвођача ЛПЕ и иноватора у Кини. Специјализовани смо за ТаЦ премазе дуги низ година. Наши производи могу да издрже температуре изнад 2000 степени Целзијуса, продужавају животни век потрошног материјала. Радујемо се да постанете ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Као професионални произвођач, ВеТек Семицондуцтор жели да вам обезбеди висококвалитетни полумесечни део обложен тантал карбидом за ЛПЕ.

ВеТек Семицондуцтор је професионални лидер у Кини СиЦ, ТаЦ премаза, произвођач чврстог СиЦ са високим квалитетом и разумном ценом. Наш полумесечни део обложен тантал карбидом за ЛПЕ се користи у реакционој комори хоризонталне и вертикалне опреме за епитаксију за ношење супстрата, контролу температуре, топлоту очување, вентилацију, заштиту и друге функције, како би се заједнички контролисала дебљина, допинг, дефекти и друге карактеристике материјала раста епитаксијског слоја СиЦ унутар реакционе коморе.

ВеТек Семицондуцтор повезани производи: горњи полумесец, доњи полумесец, заштитни поклопац, изолациони поклопац, интерфејс за преусмеравање процесног ваздуха. Наша компанија је посвећена пружању клијентима комплетног спектра решења компоненти обложених СиЦ и ТаЦ обложених реакционих комора.

Параметар производа полумесечног дела обложеног тантал карбидом за ЛПЕ

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)

ВеТек Семицондуцтор Продуцтион Схоп

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова:

Хот Тагс: Део полумесеца обложен тантал карбидом за ЛПЕ, Кина, произвођач, добављач, фабрика, прилагођена, куповина, напредна, издржљива, произведена у Кини

Ознака производа

Повезана категорија