Аиктрон МОЦВД рецептор

Тхе Сусцепторс продуцираоВетек Семицондуцторсу направљени од графитне подлоге и материјала за облагање од силицијум карбида (СиЦ). С обзиром на већу отпорност на хабање, отпорност на корозију и изузетно високу тврдоћу СиЦ материјала, посебно је погодан за употребу у тешким процесним окружењима. Стога се сусцептори које производи Ветек Семицондуцтор могу директно користити у високотемпературним МОЦВД процесима без додатне површинске обраде.

Сусцептори су кључне компоненте у производњи полупроводника, посебно у МОЦВД опреми за процесе наношења танког филма. Главна улога одАиктрон СиЦ пријемнику МОЦВД процесу је ношење полупроводничких плочица, обезбеђивање уједначеног и висококвалитетног таложења танких филмова обезбеђивањем уједначене дистрибуције топлоте и реакционог окружења, чиме се постиже висококвалитетна производња танког филма.

Аиктрон МОЦВД рецепторсе обично користи за подупирање и фиксирање базе полупроводничких плочица како би се осигурала стабилност плочице током процеса таложења. У исто време, површински премаз Аиктрон МОЦВД Сусцептора је направљен од силицијум карбида (СиЦ), материјала високе топлотне проводљивости. СиЦ премаз обезбеђује уједначену температуру на површини плочице, а равномерно загревање је неопходно за добијање висококвалитетних филмова.

Штавише, тхеАиктрон МОЦВД рецепторкоју производимо игра већу улогу у контроли протока и дистрибуције реактивних гасова кроз оптимизован дизајн материјала. Избегавајте вртложне струје и температурне градијенте да бисте постигли равномерно таложење филма.

Што је још важније, у МОЦВД процесу, материјал за облагање од силицијум карбида (СиЦ) има отпорност на корозију, тако даВетек Семицондуцтор'сАиктрон МОЦВД рецептортакође може да издржи високе температуре и корозивне гасове.

Основна физичка својстваСИЦ ЦОАТИНГ:

ВеТек Семицондуцтор Вафер Боат продавнице:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: