ЦВД ТАЦ премаз

ЦВД ТаЦ премаз (премаз тантал карбида за хемијско таложење паре) је производ за облагање који се углавном састоји од тантал карбида (ТаЦ). ТаЦ премаз има изузетно високу тврдоћу, отпорност на хабање и отпорност на високе температуре, што га чини идеалним избором за заштиту кључних компоненти опреме и побољшање поузданости процеса. То је незаменљив материјал у обради полупроводника.

ЦВД ТаЦ Цоатинг производи се обично користе у реакционим коморама, носачима плочица и опреми за јеткање и играју следеће кључне улоге у њима.

ЦВД ТаЦ премаз се често користи за унутрашње компоненте реакционих комора као што су подлоге, зидне плоче и грејни елементи. У комбинацији са својом одличном отпорношћу на високе температуре, може ефикасно да се одупре ерозији високе температуре, корозивних гасова и плазме, чиме се ефективно продужава радни век опреме и обезбеђује стабилност процеса и чистоћа производње производа.

Поред тога, носачи вафла обложени ТаЦ-ом (као што су кварцни чамци, прибор, итд.) такође имају одличну отпорност на топлоту и отпорност на хемијску корозију. Носач плочице може обезбедити поуздану подршку за плочицу на високим температурама, спречити контаминацију и деформацију плочице и на тај начин побољшати укупан принос чипа.

Штавише, ВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ премаз се такође широко користи у разним опреми за нагризање и таложење танког филма, као што су плазма графичари, системи за хемијско таложење паре, итд. У овим системима обраде, ЦВД ТАЦ премаз може издржати високоенергетско јонско бомбардовање и јаке хемијске реакције , чиме се обезбеђује тачност и поновљивост процеса.

Какви год да су ваши специфични захтеви, ми ћемо ускладити најбоље решење за ваше потребе за ЦВД ТАЦ премазом и радујемо се вашој консултацији у било ком тренутку.

Основна физичка својства ЦВД ТАЦ премаза:

ВеТек Семицондуцтор ЦВД ТАЦ Цоатинг продавнице производа:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: