Пробој технологије тантал карбида, СиЦ епитаксијално загађење смањено за 75%?

Недавно је немачки истраживачки институт Фраунхофер ИИСБ направио искорак у истраживању и развојуТехнологија превлаке од тантал карбида, и развио решење за премазивање спрејом које је флексибилније и еколошки прихватљивије од решења за ЦВД таложење, и комерцијализовано је.

И домаћи ветек полупроводник је такође направио пробој у овој области, погледајте доле за детаље.

Фраунхофер ИИСБ:

Развијање нове технологије ТаЦ премаза

5. марта, према писању медија "Цомпоунд Семицондуцтор“, Фраунхофер ИИСБ је развио новуТехнологија превлаке од тантал карбида (ТаЦ).-Таццотта. Технолошка лиценца је пренета на Ниппон Корнмеиер Царбон Гроуп (НКЦГ), а НКЦГ је почела да обезбеђује ТаЦ обложене графитне делове за своје купце.

Традиционални метод производње ТаЦ премаза у индустрији је хемијско таложење паре (ЦВД), које се суочава са недостацима као што су високи трошкови производње и дуго време испоруке. Поред тога, ЦВД метода је такође склона пуцању ТаЦ током поновљеног загревања и хлађења компоненти. Ове пукотине откривају основни графит, који се током времена озбиљно деградира и треба га заменити.

Иновација компаније Таццотта је у томе што користи методу наношења спреја на бази воде, након чега следи температурни третман да би се формирао ТаЦ премаз са високом механичком стабилношћу и подесивом дебљином награфитна подлога. Дебљина премаза се може подесити од 20 микрона до 200 микрона како би одговарала различитим захтевима примене.

ТаЦ процесна технологија коју је развио Фраунхофер ИИСБ може подесити потребна својства премаза, као што је дебљина, као што је приказано испод, у опсегу од 35 μм до 110 μм

Конкретно, премаз Таццотта спреј такође има следеће кључне карактеристике и предности:

● Еколошки прихватљивији: Са премазом спрејом на бази воде, овај метод је еколошки прихватљивији и лакши за индустријализацију;

● Флексибилност: Таццотта технологија се може прилагодити компонентама различитих величина и геометрија, омогућавајући делимично премазивање и обнављање компоненти, што није могуће у ЦВД-у.

● Смањено загађење танталом: Графитне компоненте са Таццотта премазом се користе у СиЦ епитаксијалној производњи, а загађење танталом је смањено за 75% у поређењу са постојећимЦВД облоге.

● Отпорност на хабање: Тестови на огреботине показују да повећање дебљине премаза може значајно побољшати отпорност на хабање.

Сцратцх тест

Извјештава се да је технологија промовисана за комерцијализацију од стране НКЦГ, заједничког предузећа које се фокусира на обезбјеђивање графитних материјала високих перформанси и сродних производа. НКЦГ ће такође још дуго учествовати у развоју Таццотта технологије. Компанија је почела да пружа својим купцима графитне компоненте засноване на Таццотта технологији.

Ветек Семицондуцтор промовише локализацију ТаЦ

Почетком 2023. ветек семицондуцтор је лансирао нову генерацијуРаст кристала СиЦматеријал термичког поља-порозни тантал карбид.

Према извештајима, ветек семицондуцтор је покренуо искорак у развојупорозни тантал карбидса великом порозношћу кроз независна технолошка истраживања и развој. Његова порозност може достићи и до 75%, постижући међународно лидерство.