Центар за сакупљање СиЦ премаза

ВеТек Семицондуцтор СиЦ Цоатинг Цоллецтор Центер игра важну улогу у производњи Семицондуцор ЕПИ процеса. То је једна од кључних компоненти које се користе за дистрибуцију и контролу гаса у епитаксијалној реакционој комори. Добро дошли да нас питате о СиЦ премазу и ТаЦ премазу у нашој фабрици.

Улога Центра за сакупљање СиЦ премаза је следећа:

Дистрибуција гаса: СиЦ Цоатинг Цоллецтор Центер се користи за увођење различитих гасова у епитаксијалну реакциону комору. Има више улаза и излаза који могу дистрибуирати различите гасове на жељене локације како би задовољили специфичне потребе епитаксијалног раста.

Контрола гаса: СиЦ Цоатинг Цоллецтор Центер постиже прецизну контролу сваког гаса преко вентила и уређаја за контролу протока. Ова прецизна контрола гаса је неопходна за успех процеса епитаксијалног раста да би се постигла жељена концентрација гаса и брзина протока, обезбеђујући квалитет и конзистентност филма.

Уједначеност: Дизајн и распоред централног прстена за сакупљање гаса помаже да се постигне уједначена дистрибуција гаса. Путем разумног протока гаса и режимом дистрибуције, гас се равномерно меша у епитаксијалној реакционој комори, како би се постигао уједначен раст филма.

У производњи епитаксијалних производа, СиЦ Цоатинг Цоллецтор Центер игра кључну улогу у квалитету, дебљини и униформности филма. Кроз одговарајућу дистрибуцију и контролу гаса, центар за сакупљање СиЦ премаза може осигурати стабилност и конзистентност процеса епитаксијалног раста, како би се добили висококвалитетни епитаксијални филмови.

У поређењу са графитним колекторским центром, СиЦ Цоатед Цоллецтор Центер има побољшану топлотну проводљивост, повећану хемијску инертност и супериорну отпорност на корозију. Превлака од силицијум карбида значајно побољшава способност управљања топлотом графитног материјала, што доводи до боље уједначености температуре и доследног раста филма у епитаксијалним процесима. Поред тога, премаз обезбеђује заштитни слој који је отпоран на хемијску корозију, продужавајући животни век графитних компоненти. Све у свему, графитни материјал обложен силицијум карбидом нуди супериорну топлотну проводљивост, хемијску инертност и отпорност на корозију, обезбеђујући побољшану стабилност и висококвалитетан раст филма у епитаксијалним процесима.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Индустријски ланац:

Производна радња