СиЦ Цоатинг графитни МОЦВД грејач

МОЦВД је прецизна технологија раста танког филма која се широко користи у производњи полупроводника, оптоелектронских и микроелектронских уређаја. Кроз МОЦВД технологију, висококвалитетни филмови полупроводничког материјала могу се наносити на подлоге (као што су силицијум, сафир, силицијум карбид, итд.).

У МОЦВД опреми, СиЦ Цоатинг графитни МОЦВД грејач обезбеђује једнообразно и стабилно окружење загревања у високотемпературној реакционој комори, омогућавајући да се одвија хемијска реакција у гасној фази, чиме се наноси жељени танки филм на површину супстрата.

Графитни МОЦВД грејач ВеТек Семицондуцтор-а са СиЦ Цоатинг графитом је направљен од висококвалитетног графитног материјала са СиЦ премазом. Графитни МОЦВД грејач са СиЦ Цоатед производи топлоту на принципу отпорног грејања.

Језгро графитног МОЦВД грејача СиЦ Цоатинг је графитна подлога. Струја се примењује преко екстерног напајања, а карактеристике отпора графита се користе за стварање топлоте да би се постигла потребна висока температура. Топлотна проводљивост графитне подлоге је одлична, што може брзо провести топлоту и равномерно пренети температуру на целу површину грејача. У исто време, СиЦ премаз не утиче на топлотну проводљивост графита, омогућавајући грејачу да брзо реагује на промене температуре и обезбеди равномерну дистрибуцију температуре.

Чисти графит је подложан оксидацији у условима високе температуре. СиЦ премаз ефикасно изолује графит од директног контакта са кисеоником, чиме се спречавају реакције оксидације и продужава век трајања грејача. Поред тога, МОЦВД опрема користи корозивне гасове (као што су амонијак, водоник, итд.) за хемијско таложење паре. Хемијска стабилност СиЦ премаза омогућава му да се ефикасно одупре ерозији ових корозивних гасова и заштити графитну подлогу.

Под високим температурама, необложени графитни материјали могу ослободити честице угљеника, што ће утицати на квалитет таложења филма. Примена СиЦ премаза инхибира ослобађање честица угљеника, омогућавајући да се МОЦВД процес спроводи у чистом окружењу, задовољавајући потребе производње полупроводника са високим захтевима за чистоћом.

Коначно, графитни МОЦВД грејач СиЦ Цоатинг је обично дизајниран у кружном или другом правилном облику како би се обезбедила уједначена температура на површини подлоге. Уједначеност температуре је критична за уједначен раст дебелих филмова, посебно у МОЦВД епитаксијалном процесу раста ИИИ-В једињења као што су ГаН и ИнП.

ВеТеК Семицондуцтор пружа професионалне услуге прилагођавања. Водеће у индустрији могућности обраде и СиЦ премаза омогућавају нам да производимо врхунске грејаче за МОЦВД опрему, погодне за већину МОЦВД опреме.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке

ВеТеК Семицондуцтор  СиЦ Цоатинг графит МОЦВД продавнице грејача