СиЦ Цоатинг Вафер Царриер

Ветек Семицондуцтор се специјализовао за производњу и снабдевање високо-перформансних носача за плочице са СиЦ премазом и посвећен је пружању напредне технологије и решења производа за индустрију полупроводника.

У производњи полупроводника, Ветек Семицондуцтор-ов СиЦ носач плочице је кључна компонента у опреми за хемијско таложење паре (ЦВД), посебно у опреми за таложење металних органских хемијских пара (МОЦВД). Његов главни задатак је да подржи и загреје монокристалну подлогу тако да епитаксијални слој може да расте равномерно. Ово је неопходно за производњу висококвалитетних полупроводничких уређаја.

Отпорност на корозију СиЦ премаза је веома добра, што може ефикасно заштитити графитну базу од корозивних гасова. Ово је посебно важно у високим температурама и корозивним срединама. Поред тога, топлотна проводљивост СиЦ материјала је такође веома одлична, што може равномерно да спроводи топлоту и обезбеди равномерну дистрибуцију температуре, чиме се побољшава квалитет раста епитаксијалних материјала.

СиЦ премаз одржава хемијску стабилност на високим температурама и корозивној атмосфери, избегавајући проблем квара премаза. Што је још важније, коефицијент топлотног ширења СиЦ-а је сличан коефицијенту графита, што може избећи проблем осипања премаза услед термичког ширења и контракције и обезбедити дугорочну стабилност и поузданост премаза.

Основна физичка својстваСиЦ Цоатинг Вафер Царриер:

Производна радња:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: