ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач у Кини за чамац од силицијум карбида за хоризонталне пећи, са дугогодишњим искуством у истраживању и развоју и производњи, може добро контролисати квалитет и понудити конкурентну цену. Можете бити сигурни да ћете купити чамац од силицијум карбида за хоризонталну пећ од нас.
Висококвалитетни чамац од силицијум карбида за хоризонталне пећи нуди кинески произвођач ВеТек Семицондуцтор. Купите чамац од силицијум карбида за хоризонталне пећи који је високог квалитета директно из фабрике по ниској цени. Силицијум карбидни чамац за хоризонталне пећи се користи у цевима пећи за пуњење и преношење обланда током високотемпературних третмана. Због одличних својстава материјала силицијум карбида као што су отпорност на високе температуре, отпорност на хемијску корозију и термичку стабилност, они се широко користе у различитим процесима топлотне обраде као што су дифузија, оксидација, ЦВД и жарење.
1. Висока тврдоћа и отпорност на хабање: Силицијум карбид има тврдоћу другу након дијаманта, што га чини високо отпорним на хабање. Ово омогућава чамцима од силицијум карбида да издрже поновљене механичке ударе и трење, продужавајући њихов век трајања.
2. Отпорност на високе температуре: Силицијум карбид има тачку топљења од 2730°Ц, што чини чамце од силицијум карбида погодним за окружења са високим температурама и различите производне процесе полупроводника, као што су оксидација и дифузија при високим температурама.
3. Низак коефицијент термичке експанзије: Силицијум карбид има низак коефицијент топлотног ширења, што помаже у одржавању стабилности димензија на високим температурама, спречавајући деформацију чамца и утиче на тачност обраде плочица.
4. Добра хемијска стабилност: Силицијум карбид је отпоран на већину хемикалија и не реагује са уобичајеним киселим и алкалним растворима, обезбеђујући сигурност и чистоћу плочица.
Можемо да произведемо различите типове чамаца од силицијум карбида као што су хоризонтални чамац, вертикални чамац и било који други прилагођени чамац.
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ | > 99,96% |
Бесплатан садржај Си | < 0,1% |
Спец.густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Еластични модули | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добар |
Чамац од силицијум карбида за хоризонталне пећи налази широку примену у полупроводничкој и фотонапонској индустрији:
Чишћење вафла и гравирање
Дифузија и оксидација
Галванизација и гравирање
Хемијско механичко полирање (ЦМП)
Термичка обрада
Пренос и складиштење вафла