ВеТек Семицондуцтор-ов чамац од силицијум карбидних плочица високе чистоће је направљен од изузетно чистог материјала силицијум карбида са одличном термичком стабилношћу, механичком чврстоћом и хемијском отпорношћу. Силицијум карбидна плочица високе чистоће се користи у апликацијама у врућим зонама у производњи полупроводника, посебно у окружењима са високим температурама, и игра важну улогу у заштити плочица, транспорту материјала и одржавању стабилних процеса. ВеТек Семицондуцтор ће наставити да напорно ради на иновацијама и побољшању перформанси силицијум карбидних плочица високе чистоће како би задовољио растуће потребе производње полупроводника. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Као професионални произвођач, ВеТек Семицондуцтор жели да вам пружи висококвалитетни чамац од силицијум карбида.
Одличне термичке перформансе: ВеТек Семицондуцтор-ов чамац високе чистоће силицијум карбидних плочица има одличне термичке перформансе, стабилан је у окружењима са високим температурама и има одличну топлотну проводљивост, што им омогућава да раде на температурама далеко изнад амбијенталних. Ово чини чамац од силицијум карбида високе чистоће идеалним за апликације велике снаге и издржљивости на високим температурама.
Одлична отпорност на корозију: Силицијум карбидна плочица високе чистоће је кључно средство за производњу полупроводника и има јаку отпорност на различите корозивне агенсе. Као поуздан носач, може да издржи ефекте високе температуре и корозије у хемијском окружењу, обезбеђујући безбедну и ефикасну обраду плочица од силицијум карбида. Као поуздан носач, може да издржи ефекте високе температуре и корозије у хемијском окружењу, обезбеђујући безбедну и ефикасну обраду плочица од силицијум карбида.
Димензионални интегритет: Силицијум карбидна плочица високе чистоће се не скупља током процеса синтеровања, одржавајући димензионални интегритет и елиминишући заостала напрезања која могу изазвати деформације или пуцање делова. Ово омогућава израду делова сложеног облика са прецизним димензијама. Било да се ради о производњи полупроводничких уређаја или другим индустријским пољима, чамац од силицијум карбида високе чистоће обезбеђује поуздану контролу димензија како би се осигурало да делови испуњавају спецификације.
Као свестран алат, ВеТек Семицондуцтор-ов чамац високе чистоће силицијум карбидних плочица може се применити на различите технологије производње полупроводника, укључујући епитаксијални раст и хемијско таложење паре. Његов издржљив дизајн и нереактивна природа чине чамац за вафле од силицијум карбида високе чистоће погодним за различите хемијске процесе, осигуравајући да се може глатко прилагодити различитим окружењима обраде.
У производњи полупроводника, епитаксијални раст и хемијско наношење паре су уобичајени процесни кораци који се користе за узгој висококвалитетних плочица и танких филмова. СиЦ чамац високе чистоће игра важну улогу као носач, који може издржати утицај високих температура и хемикалија како би се осигурали тачни процеси раста и таложења.
Поред свог издржљивог дизајна, СиЦ чамац високе чистоће је такође нереактиван. То значи да неће негативно реаговати са хемикалијама за обраду, чиме се одржава интегритет и перформансе чамца. Ово произвођачима полупроводника пружа поуздан алат који обезбеђује доследност и поновљивост у производном процесу.
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ | > 99,96% |
Бесплатан садржај Си | < 0,1% |
Спец.густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Еластични модули | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добар |