ТаЦ обложен графитни сусцептор

ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатед Грапхите Сусцептор користи метод хемијског таложења паре (ЦВД) за припрему превлаке од тантал карбида на површини графитних делова. Овај процес је најзрелији и има најбоља својства премаза. ТаЦ обложен графитни сусцептор може продужити век трајања графитних компоненти, инхибирати миграцију нечистоћа графита и осигурати квалитет епитаксије. ВеТек Семицондуцтор се радује вашем упиту.

Пошаљи упит

Опис производа

Добродошли сте да дођете у нашу фабрику ВеТек Семицондуцтор да купите најновију продају, по ниској цени и висококвалитетни ТаЦ обложени графитни сусцептор. Радујемо се сарадњи са вама.

Тачка топљења керамичког материјала од тантал карбида до 3880 ℃, је висока тачка топљења и добра хемијска стабилност једињења, његово окружење на високим температурама и даље може одржавати стабилне перформансе, поред тога, такође има отпорност на високу температуру, отпорност на хемијску корозију, добру хемикалију и механичка компатибилност са угљеничним материјалима и другим карактеристикама, што га чини идеалним заштитним премазним материјалом за графитну подлогу. Превлака од тантал карбида може ефикасно заштитити графитне компоненте од утицаја врућег амонијака, водоника и силицијумске паре и растопљеног метала у тешким условима употребе, значајно продужити век трајања графитних компоненти и инхибирати миграцију нечистоћа у графит, обезбеђивање квалитета епитаксије и раста кристала. Углавном се користи у влажном керамичком процесу.

Хемијско таложење паре (ЦВД) је најзрелија и оптимална метода припреме за облагање тантал карбидом на површини графита.

Метода ЦВД ТаЦ премаза за ТаЦ обложен графитни сусцептор:

Процес облагања користи ТаЦл5 и пропилен као извор угљеника и извор тантала, респективно, и аргон као носећи гас за довођење паре тантал пентахлорида у реакциону комору након високотемпературне гасификације. Под циљном температуром и притиском, пара материјала прекурсора се адсорбује на површини графитног дела и долази до низа сложених хемијских реакција као што су разлагање и комбинација извора угљеника и извора тантала. Истовремено, низ површинских реакција као што су дифузија прекурсора и десорпција нуспроизвода такође је укључен. Коначно, на површини графитног дела формира се густ заштитни слој, који штити графитни део од стабилности у екстремним условима околине. Сценарији примене графитних материјала су значајно проширени.

Параметар производа ТаЦ обложеног графитног сусцептора:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)