ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор прстенова са три латице са ТаЦ премазом и иноватор у Кини. Специјализовани смо за ТаЦ и СиЦ премазе дуги низ година. Наши производи имају отпорност на корозију, високу чврстоћу. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ВеТек Семицондуцтор је професионални кинески произвођач и добављач прстена са три латице са ТаЦ обложеним прстеном. Прстен са три латице обложен ТаЦ се користи у Аиктрон Г10-депозиционом систему за сложене полупроводнике, Г10-ГаН 150/200 мм високе пропусне епитаксије за ГаН снагу и РФ апликације.
ВеТек Семицондуцтор ТаЦ премаз је нова генерација материјала отпорног на високе температуре, са бољом стабилношћу високе температуре од СиЦ, као премаз отпоран на корозију, премаз отпоран на оксидацију, премаз отпоран на хабање, може се користити у окружењу изнад 2000 ℃, широко се користи у Ваздухопловство ултра-високе температуре хот енд делови, трећа генерација полупроводничког раста монокристала и друга поља.
1. Висока чистоћа, садржај нечистоћа < 5ппм
2. Отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, висока густина, висока густина
3. Хемијски је инертан на амонијак, водоник, силан и силицијум на високој температури и има добру термичку стабилност.
4. Отпорност на топлотни удар, може убрзати радни циклус
5. Јака адхезија графита обезбеђује дуг радни век и нема раслојавања премаза.
6. Строге толеранције димензија.
Главне апликације:
1. Епитаксијални раст
2. Раст једног кристала
3. Високотемпературна диверзија корозије
4. Млазница отпорна на високе температуре и оксидацију
5. Лопатице гасне турбине
Физичка својства ТаЦ превлаке | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5 Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |