ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Цхуцк има висококвалитетни ТаЦ премаз, познат по својој изузетној отпорности на високе температуре и хемијској инертности, посебно у процесима епитаксије силицијум карбидом (СиЦ) (ЕПИ). Са својим изузетним карактеристикама и супериорним перформансама, наша ТаЦ Цоатинг Цхуцк нуди неколико кључних предности. Посвећени смо пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Цхуцк је идеално решење за постизање изузетних резултата у СиЦ ЕПИ процесу. Са својим ТаЦ премазом, отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, наш производ вам омогућава да прецизно и поуздано производите висококвалитетне кристале. Добро дошли да нас питате.
ТаЦ (тантал карбид) је материјал који се обично користи за премазивање површине унутрашњих делова епитаксијалне опреме. Има следеће карактеристике:
Одлична отпорност на високе температуре: ТаЦ премази могу да издрже температуре до 2200°Ц, што их чини идеалним за примену у окружењима са високим температурама као што су епитаксијалне реакционе коморе.
Висока тврдоћа: Тврдоћа ТаЦ достиже око 3000-4000 ХВ, што је много теже од уобичајено коришћеног нерђајућег челика или легуре алуминијума, што може ефикасно спречити површинско хабање.
Јака хемијска стабилност: ТаЦ премаз се добро понаша у хемијски корозивним окружењима и може значајно продужити радни век компоненти епитаксијалне опреме.
Добра електрична проводљивост: ТаЦ премаз има добру електричну проводљивост, што је погодно за електростатичко ослобађање и проводљивост топлоте.
Ова својства чине ТаЦ премаз идеалним материјалом за производњу критичних делова као што су унутрашње чауре, зидови реакционе коморе и грејни елементи за епитаксијалну опрему. Облагањем ових компоненти ТаЦ-ом, могу се побољшати укупне перформансе и радни век епитаксијалне опреме.
За епитаксију силицијум карбидом, комад ТаЦ премаза такође може играти важну улогу. Површина ТаЦ премаза је глатка и густа, што погодује формирању висококвалитетних филмова силицијум карбида. Истовремено, одлична топлотна проводљивост ТаЦ-а може помоћи да се побољша униформност дистрибуције температуре унутар опреме, чиме се побољшава тачност контроле температуре епитаксијалног процеса и на крају постиже виши квалитет раста епитаксијалног слоја силицијум карбида.
Физичка својства ТаЦ превлаке | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5 Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |