ТаЦ Цоатинг Цхуцк

ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Цхуцк је идеално решење за постизање изузетних резултата у СиЦ ЕПИ процесу. Са својим ТаЦ премазом, отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, наш производ вам омогућава да прецизно и поуздано производите висококвалитетне кристале. Добро дошли да нас питате.

ТаЦ (тантал карбид) је материјал који се обично користи за премазивање површине унутрашњих делова епитаксијалне опреме. Има следеће карактеристике:

● Одлична отпорност на високе температуре: ТаЦ премази могу да издрже температуре до 2200°Ц, што их чини идеалним за примену у високотемпературним окружењима као што су епитаксијалне реакционе коморе.

● Висока тврдоћа: Тврдоћа ТаЦ достиже око 2000 ХК, што је много теже од уобичајено коришћеног нерђајућег челика или легуре алуминијума, што може ефикасно спречити површинско хабање.

● Јака хемијска стабилност: ТаЦ премаз се добро понаша у хемијски корозивним окружењима и може у великој мери продужити век трајања компоненти епитаксијалне опреме.

● Добра електрична проводљивост: ТаЦ премаз има добру електричну проводљивост, што је погодно за електростатичко ослобађање и проводљивост топлоте.

Ова својства чине ТаЦ премаз идеалним материјалом за производњу критичних делова као што су унутрашње чауре, зидови реакционе коморе и грејни елементи за епитаксијалну опрему. Облагањем ових компоненти ТаЦ-ом, могу се побољшати укупне перформансе и радни век епитаксијалне опреме.

За епитаксију силицијум карбидом, комад ТаЦ премаза такође може играти важну улогу. Површина ТаЦ премаз је гладак и густ, што погодује формирању висококвалитетних филмова силицијум карбида. Истовремено, одлична топлотна проводљивост ТаЦ-а може помоћи у побољшању униформности дистрибуције температуре унутар опреме, чиме се побољшава тачност контроле температуре епитаксијалног процеса и на крају постиже виши квалитет раста епитаксијалног слоја силицијум карбида.