Водећи прстен за ТаЦ премаз

ВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг је креиран наношењем премаза од тантал карбида на графитне делове користећи веома напредну технику која се зове хемијско таложење паре (ЦВД). Ова метода је добро успостављена и нуди изузетна својства премаза. Коришћењем ТаЦ прстена за вођење премаза, животни век графитних компоненти може се значајно продужити, кретање графитних нечистоћа може бити потиснуто, а квалитет монокристала СиЦ и АИН може се поуздано одржати. Добродошли да нас распитате.

Пошаљи упит

Опис производа

ВеТек Семицондуцтор је професионални кинески ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг, ТаЦ Цоатинг Цруцибле, произвођач и добављач држача семена.

ТаЦ облога Тиглица, држач за семе и Водећи прстен за ТаЦ премаз у СиЦ и АИН монокристалној пећи узгајани су ПВТ методом.

Када се метода физичког транспорта паре (ПВТ) користи за припрему СиЦ-а, кристал за семе се налази у региону релативно ниске температуре, а СиЦ сировина је у региону релативно високе температуре (изнад 2400 ℃). Разлагање сировог материјала производи СиКСЦи (углавном укључујући Си, СиЦ₂, Си₂Ц, итд.). Материјал парне фазе се транспортује из региона високе температуре до кристала семена у региону ниске температуре, ствара језгро и расте. За формирање једног кристала. Материјали термичког поља који се користе у овом процесу, као што су лончић, прстен за вођење протока, држач кристала за семе, треба да буду отпорни на високе температуре и неће загађивати СиЦ сировине и СиЦ монокристале. Слично томе, грејни елементи у расту АлН монокристала треба да буду отпорни на паре Ал, Н2 корозију и морају да имају високу еутектичку температуру (и АлН) да би скратили период припреме кристала.

Утврђено је да су СиЦ и АлН припремљени од графитних материјала термичког поља обложених ТаЦ били чишћи, готово без угљеника (кисеоник, азот) и других нечистоћа, мање дефекта на ивицама, мања отпорност у сваком региону, а густина микропора и густина јаме за јеткање су били значајно смањен (након јеткања КОХ), а квалитет кристала је знатно побољшан. Поред тога, стопа губитка тежине ТаЦ лончића је скоро нула, изглед је недеструктиван, може се рециклирати (век трајања до 200х), може побољшати одрживост и ефикасност такве припреме монокристала.

Параметар производа водећег прстена за ТаЦ премаз:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)