ТаЦ гријач премаза

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор ТаЦ Цоатинг Хеатер у Кини. Овај производ има изузетно високу тачку топљења (око 3880°Ц). Висока тачка топљења ТаЦ Цоатинг Хеатер-а омогућава му да ради на екстремно високим температурама, посебно у расту епитаксијалних слојева галијум нитрида (ГаН) у процесу таложења металних органских хемијских пара (МОЦВД). ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредне технологије и решења производа за индустрију полупроводника. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

ТаЦ Цоатинг Хеатер је грејни елемент високих перформанси који се широко користи у процесима производње полупроводника. Његова површина је обложена тантал карбидом (ТаЦ) материјалом, који грејачу даје одличну отпорност на високе температуре, отпорност на хемијску корозију и одличну топлотну проводљивост.

Главне примене грејача ТаЦ премаза у производњи полупроводника укључују:

Током процеса епитаксијалног раста галијум нитрида (ГаН), ТаЦ Цоатинг Хеатер обезбеђује прецизно контролисано окружење високе температуре како би се обезбедило да се епитаксијални слој наноси на подлогу уједначеном брзином и високог квалитета. Његова стабилна топлотна снага помаже да се постигне прецизна контрола танкослојних материјала, чиме се побољшавају перформансе уређаја.

Штавише, у процесу таложења металне органске хемијске паре (МОЦВД), у комбинацији са отпорношћу на високу температуру и топлотном проводљивошћу ТаЦ превлаке, грејач ТаЦ премаза се обично користи за загревање реакционог гаса, а обезбеђивањем уједначене дистрибуције топлоте промовише његова хемијска реакција на површини супстрата, чиме се побољшава униформност епитаксијалног слоја и формира се висококвалитетни филм.

Као индустријски лидер у производима ТаЦ Цоатинг Хеатер, ВеТек Семицондуцто увек подржава услуге прилагођавања производа и задовољавајуће цене производа. Без обзира на то који су ваши специфични захтеви, ми ћемо ускладити најбоље решење за ваше потребе грејача за ТаЦ премаз и радујемо се вашој консултацији у било ком тренутку.

Основна физичка својства ТаЦ гријача премаза:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)