ТаЦ Цоатинг Подложна плоча постоља

ВеТек Семицондуцтор је произвођач и добављач у Кини који углавном производи ЦВД ТаЦ облоге, улазни прстен, Вафер Цхунцк, ТаЦ обложени држач, ТаЦ Цоатинг Плоча за постоље са дугогодишњим искуством. Надам се да ћу изградити пословни однос са вама.

ТаЦ керамика има тачку топљења до 3880℃, високу тврдоћу (тврдоћа по Мохсу 9 ~ 10), велику топлотну проводљивост (22В·м-1·К−1), велику чврстоћу на савијање (340 ~ 400МПа) и малу топлотну експанзију коефицијент (6,6×10−6К−1), и показују одличну термохемијску стабилност и одлична физичка својства. Има добру хемијску и механичку компатибилност са графитним и Ц/Ц композитним материјалима, тако да се ТаЦ премаз широко користи у ваздушној топлотној заштити, расту монокристала и епитаксијалним реакторима као што су Аиктрон, ЛПЕ ЕПИ реактор у индустрији полупроводника. Графит обложен ТаЦ има бољу отпорност на хемијску корозију од голог каменог мастила или графита обложеног СиЦ, може се стабилно користити на високој температури од 2200 °, не реагује са многим металним елементима, трећа је генерација раста полупроводничког монокристала, епитаксије и сцене јеткања вафла најбоље перформансе премаза, може значајно побољшати процес контроле температуре и нечистоћа, Припрема висококвалитетних плочица од силицијум карбида и сродних епитаксијалних плочица. Посебно је погодан за узгој ГаН или АлН монокристала у МОЦВД опреми и СиЦ монокристала у ПВТ опреми, а квалитет узгојеног монокристала је очигледно побољшан.

ТаЦ премаз и СиЦ премаз Резервни делови које можемо да урадимо:

Параметар ТаЦ премаза:

Индустријски ланац:

Производна радња