ТаЦ Цоатинг Планетари Сусцептор

У области производње полупроводника, ТаЦ Цоатинг Планетари Сусцептор игра кључну улогу. Широко се користи у расту епитаксијалних слојева силицијум карбида (СиЦ) у опреми као што је Аиктрон Г5 систем. Штавише, када се користи као спољни диск у таложењу премаза од тантал карбида (ТаЦ) за СиЦ епитаксију, ТаЦ Цоатинг Планетари Сусцептор пружа основну подршку и стабилност. Осигурава равномерно таложење слоја тантал карбида, доприносећи формирању висококвалитетних епитаксијалних слојева са одличном морфологијом површине и жељеном дебљином филма. Хемијска инертност ТаЦ премаза спречава нежељене реакције и контаминацију, одржавајући интегритет епитаксијалних слојева и осигуравајући њихов врхунски квалитет.

Изузетна топлотна проводљивост ТаЦ премаза омогућава ефикасан пренос топлоте, промовишући равномерну дистрибуцију температуре и минимизирајући топлотни стрес током процеса епитаксијалног раста. Ово резултира производњом висококвалитетних СиЦ епитаксијалних слојева са побољшаним кристалографским својствима и побољшаном електричном проводљивошћу.

Прецизне димензије и робусна конструкција ТаЦ Цоатинг Планетари Диск олакшавају интеграцију у постојеће системе, обезбеђујући беспрекорну компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни ТаЦ премаз доприносе доследним и уједначеним резултатима у процесима СиЦ епитаксије.

Верујте ВеТек Семицондуцтор-у и нашем планетарном диску са ТаЦ премазом за изузетне перформансе и поузданост у СиЦ епитаксији. Искусите предности наших иновативних решења, позиционирајући вас на чело технолошког напретка у индустрији полупроводника.

ТаЦ премаз и резервни делови за премаз СиЦ које испоручујемо:

Параметар производа планетарног сусцептора ТаЦ Цоатинг:

Индустријски ланац:

Производна радња