ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор

ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор је кључна компонента за руковање плочицама у обради полупроводника. ЊеговоТаЦ Цонашеима одличну толеранцију на високе температуре (тачка топљења до 3880°Ц), хемијску стабилност и отпорност на корозију, што обезбеђује високу прецизност и висок квалитет у обради вафла.

ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор (Танталум Царбон Цоатинг Ротатион Сусцептор) је кључна компонента опреме која се користи у обради полупроводника. Обично се инсталира ухемијско таложење паре (ЦВД)и опрему за епитаксију молекуларним снопом (МБЕ) за подршку и ротацију плочица како би се обезбедило једнолично таложење материјала и ефикасна реакција. Ова врста производа значајно побољшава радни век и перформансе опреме у високим температурама и корозивним срединама премазивањем подлоге сатантал угљеник (ТаЦ) премаз.

ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор се обично састоји од ТаЦ премаза и графита или силицијум карбида као материјала подлоге. ТаЦ је керамички материјал ултра високе температуре са изузетно високом тачком топљења (тачка топљења до 3880°Ц), тврдоћом (Вицкерс тврдоћа је око 2000 ХК) и одличном отпорношћу на хемијску корозију. ВеТек Семицондуцтор може ефикасно и равномерно да покрије тантал-карбонски премаз на материјалу подлоге помоћу ЦВД технологије.

Ротатион Сусцептор је обично направљен од материјала високе топлотне проводљивости и високе чврстоће (графит илисилицијум карбида), који може пружити добру механичку подршку и термичку стабилност у окружењима са високим температурама. Савршена комбинација ова два одређује савршене перформансе ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор у носећим и ротирајућим плочицама.

ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор подржава и ротира плочицу у ЦВД процесу. Викерсова тврдоћа ТаЦ-а је око 2000 ХК, што му омогућава да се одупре поновљеном трењу материјала и игра добру потпорну улогу, чиме се обезбеђује да је реакциони гас равномерно распоређен на површини плочице и да се материјал равномерно депонује. Истовремено, отпорност на високе температуре и отпорност на корозију ТаЦ Цоатинг-а омогућавају му да се користи дуго времена у високим температурама и корозивним атмосферама, чиме се ефикасно избегава контаминација плочице и носача.

Штавише, топлотна проводљивост ТаЦ је 21 В/м·К, што има добар пренос топлоте. Стога, ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор може равномерно загрејати плочицу под условима високе температуре и обезбедити уједначеност процеса таложења гаса кроз ротационо кретање, чиме се одржава конзистентност и висок квалитетраст обланде.

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку：

Физичка својства ТаЦ превлаке：

ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор продавнице: