ТаЦ Цоатинг Сусцептор

ВеТек Семицондуцтор представља ТаЦ Цоатинг Сусцептор, Са својим изузетним ТаЦ премазом, овај пријемник нуди мноштво предности које га издвајају од конвенционалних решења. Беспрекорно се интегришући у постојеће системе, ТаЦ Цоатинг Сусцептор из ВеТек Семицондуцтор гарантује компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни ТаЦ премаз доследно дају изузетне резултате у процесима СиЦ епитаксије. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

ВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ обложени сусцептор и прстен раде заједно у ЛПЕ епитаксијалном реактору раста од силицијум карбида:

Отпорност на високе температуре: ТаЦ премаз има одличну отпорност на високе температуре, способан да издржи екстремне температуре до 1500°Ц у ЛПЕ реактору. Ово осигурава да се опрема и компоненте не деформишу или оштете током дуготрајног рада.

Хемијска стабилност: ТаЦ превлака делује изузетно добро у окружењу корозивног силицијум карбида, ефикасно штитећи компоненте реактора од корозивних хемијских напада, чиме се продужава њихов радни век.

Термичка стабилност: ТаЦ премаз има добру термичку стабилност, одржава површинску морфологију и храпавост како би се осигурала уједначеност температурног поља у реактору, што је корисно за висококвалитетан раст епитаксијалних слојева силицијум карбида.

Анти-контаминација: Глатка површина пресвучена ТаЦ-ом и супериорне ТПД (температурно програмирана десорпција) перформансе могу минимизирати акумулацију и адсорпцију честица и нечистоћа унутар реактора, спречавајући контаминацију епитаксијалних слојева.

Укратко, ТаЦ обложени сусцептор и прстен играју критичну заштитну улогу у ЛПЕ епитаксијалном реактору раста од силицијум карбида, обезбеђујући дуготрајан стабилан рад опреме и висококвалитетан раст епитаксијалних слојева.

Параметар производа ТаЦ Цоатинг Сусцептор:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)