Горњи део полумесеца СиЦ Цоатед

ВеТек Семицондуцтор је водећи добављач прилагођеног горњег полумесеца СиЦ обложеног у Кини, специјализован за напредне материјале више од 20 година. ВеТек Семицондуцтор Уппер Халфмоон Парт СиЦ пресвучен је специјално дизајниран за СиЦ епитаксијалну опрему, који служи као кључна компонента у реакционој комори. Направљен од ултра чистог, полупроводничког графита, осигурава одличне перформансе. Позивамо вас да посетите нашу фабрику у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Као професионални произвођач, желели бисмо да вам пружимо висококвалитетни горњи део полумесеца обложен СиЦ-ом.

ВеТек Семицондуцтор Уппер Халфмоон Парт СиЦ пресвучени су посебно дизајнирани за СиЦ епитаксијалну комору. Имају широк спектар примена и компатибилни су са различитим моделима опреме.

Сценарио апликације:

У ВеТек Семицондуцтор-у, специјализовани смо за производњу висококвалитетног горњег полумесеца обложеног СиЦ-ом. Наши производи обложени СиЦ и ТаЦ посебно су дизајнирани за СиЦ епитаксијалне коморе и нуде широку компатибилност са различитим моделима опреме.

ВеТек Семицондуцтор Уппер Халфмоон Парт обложен СиЦ служи као компоненте у СиЦ епитаксијалној комори. Они обезбеђују контролисане температурне услове и индиректан контакт са плочицама, одржавајући садржај нечистоћа испод 5 ппм.

Да бисмо обезбедили оптималан квалитет епитаксијалног слоја, пажљиво пратимо критичне параметре као што су дебљина и униформност концентрације допинга. Наша процена укључује анализу дебљине филма, концентрације носача, униформности и храпавости површине како би се постигао најбољи квалитет производа.

ВеТек Семицондуцтор Уппер Халфмоон Парт СиЦ обложен је компатибилан са различитим моделима опреме, укључујући ЛПЕ, НАУРА, ЈСГ, ЦЕТЦ, НАСО ТЕЦХ и још много тога.

Контактирајте нас данас да бисте истражили наш висококвалитетни горњи део полумесеца обложен СиЦ-ом или закажите посету нашој фабрици.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке
Имовина	Типична вредност
Кристална структура	ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана
Густина	3,21 г/цм³
Тврдоћа	2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење)
Величине зрна	2~10μм
Хемијска чистоћа	99,99995%
Топлотни капацитет	640 Ј·кг-1·К-1
Сублиматион Температуре	2700℃
Отпорност на савијање	415 МПа РТ 4 тачке
Иоунгов модул	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
Топлотна проводљивост	300В·м-1·К-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10-6К-1