ЦВД СиЦ прстен за облагање

ЦВД СиЦ прстен за облагање је један од важних делова полумесеца. Заједно са другим деловима, формира СиЦ епитаксијалну реакцијску комору раста. ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач ЦВД СиЦ прстена за премазивање. Према захтевима дизајна купца, можемо да обезбедимо одговарајући ЦВД СиЦ прстен за премазивање по најконкурентнијој цени. ВеТек Семицондуцтор се радује што ће постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Постоји много малих делова у деловима полумесеца, а прстен за облагање СиЦ је један од њих. Наношењем слојаЦВД СиЦ премазна површини графитног прстена високе чистоће ЦВД методом можемо добити ЦВД СиЦ прстен за облагање. СиЦ премазни прстен са СиЦ премазом има одлична својства као што су отпорност на високе температуре, одлична механичка својства, хемијска стабилност, добра топлотна проводљивост, добра електрична изолација и одлична отпорност на оксидацију. ЦВД СиЦ премаз и СиЦ премазпогребникраде заједно.

SiC coating ring and cooperating susceptor

СиЦ премазни прстен и сарађујепогребник

Функције ЦВД СиЦ прстена за облагање:

● Расподела протока: Геометријски дизајн прстена за облагање СиЦ помаже да се формира једнообразно поље струјања гаса, тако да реакциони гас може равномерно да покрије површину супстрата, обезбеђујући равномеран епитаксијални раст.

● Измена топлоте и уједначеност температуре: ЦВД СиЦ прстен за облагање обезбеђује добре перформансе размене топлоте, чиме се одржава уједначена температура ЦВД СиЦ обложног прстена и подлоге. Ово може да избегне дефекте кристала изазване температурним флуктуацијама.

● Блокирање интерфејса: ЦВД СиЦ прстен за облагање може ограничити дифузију реактаната до одређене мере, тако да они реагују у одређеном подручју, чиме се промовише раст висококвалитетних кристала СиЦ.

● Функција подршке: ЦВД СиЦ прстен за облагање је комбинован са диском испод да би се формирала стабилна структура да би се спречила деформација на високој температури и реакционом окружењу, и одржала укупна стабилност реакционе коморе.

ВеТек Семицондуцтор је увек посвећен пружању купаца висококвалитетним ЦВД СиЦ прстеновима за премазивање и помагању купцима да комплетирају решења по најконкурентнијим ценама. Без обзира какав вам је ЦВД СиЦ прстен за премазивање потребан, слободно консултујте ВеТек Семицондуцтор!

СЕМ ПОДАЦИ КРИСТАЛНЕ СТРУКТУРЕ ЦВД СИЦ ФИЛМА:

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке
Имовина	Типична вредност
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана
Густина	3,21 г/цм³
Тврдоћа	2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење)
Величина зрна	2~10μм
Хемијска чистоћа	99,99995%
Хеат Цапацити	640 Ј·кг^-1·К^-1
Сублиматион Температуре	2700℃
Флекурал Стренгтх	415 МПа РТ 4 тачке
Иоунгов модул	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
Тхермал Цондуцтивити	300В·м^-1·К^-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10^-6K^-1