Носач за чамце од СиЦ плочица високе чистоће

ВеТек Семицондуцтор нуди прилагођени СиЦ носач за вафере високе чистоће. Направљен од силицијум карбида високе чистоће, има прорезе за држање плочице на месту, спречавајући је да клизи током обраде. ЦВД СиЦ премаз је такође доступан ако је потребно. Као професионални и јак произвођач и добављач полупроводника, ВеТек Семицондуцтор-ов носач за чамце високе чистоће СиЦ вафла је конкурентан по цени и високог квалитета. ВеТек Семицондуцтор се радује што ће бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

ВеТекСеми СиЦ носач за вафле високе чистоће је важна компонента лежаја која се користи у пећима за жарење, дифузионим пећима и другој опреми у процесу производње полупроводника. СиЦ носач за чамце високе чистоће обично је направљен од материјала од силицијум карбида високе чистоће и углавном укључује следеће делове:

• Тело носача чамца: структура слична носачу, посебно коришћена за ношењесилицијумске плочицеили других полупроводничких материјала.

• Структура подршке: Његов дизајн носеће структуре омогућава му да издржи тешка оптерећења на високим температурама и неће се деформисати или оштетити током третмана на високим температурама.

silicon carbide material

материјал силицијум карбида

Физичка својстваРекристализовани силицијум карбид：

Имовина	Типична вредност
Радна температура (°Ц)	1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина)
Садржај СиЦ	> 99,96%
Бесплатан садржај Си	< 0,1%
Насипна густина	2,60-2,70 г/цм3
Привидна порозност	< 16%
Снага компресије	> 600 МПа
Чврстоћа на хладно савијање	80-90 МПа (20°Ц)
Чврстоћа на топло савијање	90-100 МПа (1400°Ц)
Топлотна експанзија @1500°Ц	4,70*10^-6/°Ц
Топлотна проводљивост @1200°Ц	23 В/м•К
Модул еластичности	Модул еластичности240 ГПа
Отпорност на топлотни удар	Изузетно добро

Ако су захтеви производног процеса већи,ЦВД СиЦ премазможе се извести на носачу за чамце високе чистоће СиЦ облатни како би чистоћа достигла више од 99,99995%, што додатно побољшава његову отпорност на високе температуре.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Имовина	Типична вредност
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана
Густина	3,21 г/цм³
Тврдоћа	2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење)
Величина зрна	2~10μм
Хемијска чистоћа	99,99995%
Хеат Цапацити	640 Ј·кг^-1·К^-1
Сублиматион Температуре	2700℃
Флекурал Стренгтх	415 МПа РТ 4 тачке
Иоунгов модул	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
Тхермал Цондуцтивити	300В·м^-1·К^-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10^-6K^-1

Током третмана на високим температурама, носач за чамце за вафле високе чистоће СиЦ омогућава равномерно загревање силиконске плочице како би се избегло локално прегревање. Поред тога, отпорност на високе температуре материјала од силицијум карбида омогућава му да одржи структурну стабилност на температурама од 1200°Ц или чак више. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Током процеса дифузије или жарења, конзолна лопатица и носач за чамце високе чистоће СиЦ-а раде заједно. Тхеконзолно веслополако гура носач за чамце високе чистоће СиЦ вафла који носи силицијумску плочицу у комору пећи и зауставља је на одређеном месту за обраду.

Носач за чамце од СиЦ плочице високе чистоће одржава контакт са силицијумском плочицом и фиксира се у одређеном положају током процеса термичке обраде, док конзолна лопатица помаже да се читава структура држи у правом положају истовремено осигуравајући уједначеност температуре.

Носач за чамце високе чистоће СиЦ и конзолна лопатица раде заједно како би се осигурала тачност и стабилност процеса високе температуре.

ВеТек Семицондуцтор вам пружа прилагођени носач за чамце високе чистоће СиЦ вафера према вашим потребама. Радујемо се вашем упиту.

ВеТек СемицондуцторПродавнице носача за чамце високе чистоће СиЦ:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops