Да ли знате за МОЦВД Сусцептор?

У процесу метал-органског хемијског таложења паре (МОЦВД), суцептор је кључна компонента одговорна за подупирање плочице и обезбеђивање униформности и прецизне контроле процеса таложења. Његов избор материјала и карактеристике производа директно утичу на стабилност епитаксијалног процеса и квалитет производа.

МОЦВД Аццептор(Метал-Органиц Цхемицал Вапор Депоситион) је кључна компонента процеса у производњи полупроводника. Углавном се користи у процесу МОЦВД (метално-органско хемијско таложење паре) за подршку и загревање плочице за таложење танког филма. Дизајн и избор материјала суцептора су кључни за униформност, ефикасност и квалитет финалног производа.

Тип производа и избор материјала:

Дизајн и избор материјала МОЦВД сусцептора су разнолики, обично одређени захтевима процеса и реакционим условима.Следе уобичајени типови производа и њихови материјали:

СиЦ Цоатед Сусцептор(Суцептор обложен силицијум-карбидом):

Опис: Сусцептор са СиЦ премазом, са графитом или другим високотемпературним материјалима као подлогом, и ЦВД СиЦ премазом (ЦВД СиЦ Цоатинг) на површини ради побољшања његове отпорности на хабање и отпорност на корозију.

Примена: Широко се користи у МОЦВД процесима у високотемпературним и високо корозивним гасним окружењима, посебно у силицијумској епитаксији и таложењу једињења полупроводника.

ТаЦ Цоатед Сусцептор:

Опис: Сусцептор са ТаЦ премазом (ЦВД ТаЦ Цоатинг) као главни материјал има изузетно високу тврдоћу и хемијску стабилност и погодан је за употребу у екстремно корозивним срединама.

Примена: Користи се у МОЦВД процесима који захтевају већу отпорност на корозију и механичку чврстоћу, као што је таложење галијум нитрида (ГаН) и галијум арсенида (ГаАс).

Графитни сусцептор обложен силицијум карбидом за МОЦВД:

Опис: Подлога је графитна, а површина је прекривена слојем ЦВД СиЦ премаза како би се обезбедила стабилност и дуг животни век на високим температурама.

Примена: Погодно за употребу у опреми као што је Аиктрон МОЦВД реактори за производњу висококвалитетних сложених полупроводничких материјала.

ЕПИ рецептор (рецептор за епитаксију):

Опис: Сусцептор специјално дизајниран за епитаксијални процес раста, обично са СиЦ премазом или ТаЦ премазом за побољшање његове топлотне проводљивости и издржљивости.

Примена: У силицијумској епитаксији и сложеној полупроводничкој епитаксији, користи се да обезбеди равномерно загревање и таложење плочица.

Главна улога сусцептора за МОЦВД у обради полупроводника:

Подршка за плочице и равномерно загревање:

Функција: Сусцептор се користи за подршку плочица у МОЦВД реакторима и обезбеђује уједначену дистрибуцију топлоте кроз индукционо загревање или друге методе како би се обезбедило једнолично таложење филма.

Провођење топлоте и стабилност:

Функција: Топлотна проводљивост и термичка стабилност материјала Сусцептор су од кључне важности. СиЦ Цоатед Сусцептор и ТаЦ Цоатед Сусцептор могу одржати стабилност у процесима на високим температурама због своје високе топлотне проводљивости и отпорности на високе температуре, избегавајући дефекте филма узроковане неуједначеном температуром.

Отпорност на корозију и дуг животни век:

Функција: У МОЦВД процесу, сусцептор је изложен разним хемијским гасовима прекурсора. СиЦ Цоатинг и ТаЦ Цоатинг обезбеђују одличну отпорност на корозију, смањују интеракцију између површине материјала и реакционог гаса и продужавају век трајања сусцептора.

Оптимизација реакционог окружења:

Функција: Коришћењем висококвалитетних сусцептора, проток гаса и температурно поље у МОЦВД реактору су оптимизовани, обезбеђујући уједначен процес таложења филма и побољшавајући принос и перформансе уређаја. Обично се користи у сусцепторима за МОЦВД реакторе и Аиктрон МОЦВД опрему.

Карактеристике производа и техничке предности：

Висока топлотна проводљивост и термичка стабилност:

Карактеристике: Сусцептори обложени СиЦ и ТаЦ имају изузетно високу топлотну проводљивост, могу брзо и равномерно да дистрибуирају топлоту и одржавају структурну стабилност на високим температурама како би се обезбедило равномерно загревање плочица.

Предности: Погодно за МОЦВД процесе који захтевају прецизну контролу температуре, као што је епитаксијални раст једињења полупроводника као што су галијум нитрид (ГаН) и галијум арсенид (ГаАс).

Одлична отпорност на корозију:

Карактеристике: ЦВД СиЦ премаз и ЦВД ТаЦ премаз имају изузетно високу хемијску инертност и могу да се одупру корозији од високо корозивних гасова као што су хлориди и флуориди, штитећи подлогу сусцептора од оштећења.

Предности: Продужите радни век Сусцептора, смањите учесталост одржавања и побољшајте укупну ефикасност МОЦВД процеса.

Висока механичка чврстоћа и тврдоћа:

Карактеристике: Висока тврдоћа и механичка чврстоћа СиЦ и ТаЦ премаза омогућавају Сусцептору да издржи механички стрес у окружењу високе температуре и високог притиска и одржава дугорочну стабилност и прецизност.

Предности: Посебно погодан за процесе производње полупроводника који захтевају високу прецизност, као што су епитаксијални раст и хемијско таложење паре.

Тржишна примена и изгледи за развој

МОЦВД Сусцепторссе широко користе у производњи ЛЕД диода високе осветљености, енергетских електронских уређаја (као што су ХЕМТ-ови на бази ГаН), соларних ћелија и других оптоелектронских уређаја. Са све већом потражњом за полупроводничким уређајима са већим перформансама и мањом потрошњом енергије, МОЦВД технологија наставља да напредује, подстичући иновације у материјалима и дизајну Сусцептора. На пример, развој технологије превлаке СиЦ са вишом чистоћом и мањом густином дефеката, и оптимизација структурног дизајна Сусцептора да се прилагоди већим плочицама и сложенијим вишеслојним епитаксијалним процесима.

ВеТек семицондуцтор Тецхнологи Цо., ЛТД је водећи добављач напредних материјала за облагање за индустрију полупроводника. наша компанија се фокусира на развој најсавременијих решења за индустрију.

Наша главна понуда производа укључује ЦВД превлаке од силицијум карбида (СиЦ), премазе од тантал карбида (ТаЦ), расути СиЦ, СиЦ прахове и СиЦ материјале високе чистоће, графитни сусцептор обложен СиЦ, прстенове за претходно загревање, ТаЦ обложене диверзионе прстенове, делове полумесеца итд. ., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.

ВеТек семицондуцтор се фокусира на развој најсавременије технологије и решења за развој производа за индустрију полупроводника. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.