Шта је ТаЦ премаз?

ТаЦ Цоатинг (Танталум Царбиде Цоатинг) је материјал за облагање високих перформанси произведен поступком хемијског таложења паре (ЦВД). Због одличних својстава ТаЦ премаза у екстремним условима, широко се користи у процесу производње полупроводника, посебно у опреми и компонентама које захтевају високу температуру и јако корозивно окружење. ТаЦ премаз се обично користи за заштиту подлога (као што су графит или керамика) од оштећења услед високе температуре, корозивних гасова и механичког хабања.

Карактеристике и предности производа

Изузетно висока термичка стабилност:

Опис карактеристика: ТаЦ премаз има тачку топљења већу од 3880°Ц и може одржати стабилност без распадања или деформације у окружењу са екстремно високим температурама.

Предност: Ово га чини незаменљивим материјалом у високотемпературној полупроводничкој опреми као што су ЦВД ТаЦ Цоатинг и ТаЦ Цоатед Сусцептор, посебно за примену у МОЦВД реакторима, као што је опрема Аиктрон Г5.

Одлична отпорност на корозију:

Опис карактеристика: ТаЦ има изузетно јаку хемијску инертност и може ефикасно да се одупре ерозији корозивних гасова као што су хлориди и флуориди.

Предности: У полупроводничким процесима који укључују високо корозивне хемикалије, ТаЦ премаз штити компоненте опреме од хемијског напада, продужава радни век и побољшава стабилност процеса, посебно у примени силицијум карбидних плочица и других кључних компоненти.

Одлична механичка тврдоћа:

Опис карактеристика: Тврдоћа ТаЦ премаза је чак 9-10 Мохс, што га чини отпорним на механичко хабање и напрезање високе температуре.

Предност: Својство високе тврдоће чини ТаЦ премаз посебно погодним за употребу у окружењима високог хабања и високог стреса, осигуравајући дугорочну стабилност и поузданост опреме у тешким условима.

Ниска хемијска реактивност:

Опис карактеристика: Због своје хемијске инертности, ТаЦ премаз може да одржи ниску реактивност у окружењима са високим температурама и избегне непотребне хемијске реакције са реактивним гасовима.

Предност: Ово је посебно важно у процесу производње полупроводника јер обезбеђује чистоћу процесног окружења и висококвалитетно таложење материјала.

Улога ТаЦ премаза у обради полупроводника

Заштита кључних компоненти опреме:

Опис функције: ТаЦ премаз се широко користи у кључним компонентама опреме за производњу полупроводника, као што је ТаЦ Цоатед Сусцептор, који треба да раде у екстремним условима. Облагањем ТаЦ-ом, ове компоненте могу да раде дуги временски период у окружењу високе температуре и корозивног гаса без оштећења.

Продужите животни век опреме:

Опис функције: У МОЦВД опреми као што је Аиктрон Г5, ТаЦ премаз може значајно побољшати издржљивост компоненти опреме и смањити потребу за одржавањем и заменом опреме због корозије и хабања.

Повећајте стабилност процеса:

Опис функције: У производњи полупроводника, ТаЦ премаз обезбеђује униформност и конзистентност процеса таложења обезбеђујући стабилну високу температуру и хемијско окружење. Ово је посебно важно у процесима епитаксијалног раста као што су силицијумска епитаксија и галијум нитрид (ГаН).

Побољшајте ефикасност процеса:

Опис функције: Оптимизацијом премаза на површини опреме, ТаЦ Цоатинг може побољшати укупну ефикасност процеса, смањити стопу кварова и повећати принос производа. Ово је кључно за производњу високо прецизних полупроводничких материјала високе чистоће.

Висока термичка стабилност, одлична отпорност на корозију, механичка тврдоћа и ниска хемијска реактивност коју показује ТаЦ Цоатинг током обраде полупроводника чине га идеалним избором за заштиту компоненти опреме за производњу полупроводника. Како потражња индустрије полупроводника за високим температурама, високом чистоћом и ефикасним производним процесима наставља да расте, ТаЦ Цоатинг има широке изгледе за примену, посебно у опреми и процесима који укључују ЦВД ТаЦ Цоатинг, ТаЦ Цоатед Сусцептор и Аиктрон Г5.

ВеТек семицондуцтор Тецхнологи Цо., ЛТД је водећи добављач напредних материјала за облагање за индустрију полупроводника. наша компанија се фокусира на развој најсавременијих решења за индустрију.

Наша главна понуда производа укључује ЦВД превлаке од силицијум карбида (СиЦ), премазе од тантал карбида (ТаЦ), расути СиЦ, СиЦ прахове и СиЦ материјале високе чистоће, графитни сусцептор обложен СиЦ, прстенове за претходно загревање, ТаЦ обложене диверзионе прстенове, делове полумесеца итд. ., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.

ВеТек семицондуцтор се фокусира на развој најсавременије технологије и решења за развој производа за индустрију полупроводника.Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.