Технологија термичког прскања полупроводника

Технологија полупроводничког термичког прскања је напредни процес који распршује материјале у растопљеном или полуотопљеном стању на површину подлоге да би се формирао премаз. Ова технологија се широко користи у области производње полупроводника, углавном се користи за стварање премаза са специфичним функцијама на површини подлоге, као што су проводљивост, изолација, отпорност на корозију и отпорност на оксидацију. Главне предности технологије термичког прскања укључују високу ефикасност, контролу дебљине премаза и добру адхезију премаза, што га чини посебно важним у процесу производње полупроводника који захтева високу прецизност и поузданост.

Примена технологије термичког прскања у полупроводницима

Гравирање плазма снопом (суво гравирање)

Обично се односи на употребу сјајног пражњења за генерисање активних честица плазме које садрже наелектрисане честице као што су плазма и електрони и високо хемијски активни неутрални атоми и молекули и слободни радикали, који дифундују на део који се угравирају, реагују са угравираним материјалом, формирају испарљиве производи и уклањају се, чиме се завршава технологија гравирања преноса узорка. То је незаменљив процес за реализацију преноса финих узорака високе верности са фотолитографских шаблона на плочице у производњи интегрисаних кола ултра великих размера.

Генерисаће се велики број активних слободних радикала као што су Цл и Ф. Када урезују полупроводничке уређаје, они кородирају унутрашње површине других делова опреме, укључујући легуре алуминијума и керамичке структурне делове. Ова јака ерозија производи велики број честица, што не само да захтева често одржавање производне опреме, већ такође узрокује квар коморе за процес нагризања и оштећење уређаја у тешким случајевима.

И2О3 је материјал са веома стабилним хемијским и термичким својствима. Његова тачка топљења је далеко изнад 2400 ℃. Може остати стабилан у јаком корозивном окружењу. Његова отпорност на плазма бомбардовање може значајно продужити радни век компоненти и смањити честице у комори за нагризање.

Главно решење је прскање премаза високе чистоће И2О3 да би се заштитила комора за нагризање и друге кључне компоненте.