Роботска рука за руковање плочицама

Ветек Семицондуцтор је професионална роботска рука за руковање плочицама направљена технологијом термичког прскања.

1. Технологија термичког прскања може ефикасно побољшати отпорност на хабање руке робота. Рука робота за руковање плочицама често долази у контакт са плочицама и другом опремом током рада. Овај високофреквентни контакт и кретање могу лако изазвати хабање механичких делова. Прскањем материјала отпорних на хабање на површину роботске руке, хабање делова може се знатно смањити, животни век роботске руке се може продужити, а трошкови одржавања могу бити смањени.

2. Побољшање отпорности на корозију је такође значајна предност технологије термичког прскања. У процесу производње полупроводника, рука робота треба да ради у окружењу пуном корозивних гасова и хемијских реагенаса. Ове хемикалије могу кородирати роботску руку, утичући на њене перформансе и прецизност. Технологија термичког прскања може да формира густ антикорозивни премаз на површини руке робота, ефикасно спречавајући инвазију корозивних супстанци, чиме се обезбеђује стабилан рад роботске руке у тешким условима.

3. Технологија термичког прскања такође може побољшати термичку стабилност руке робота. У процесу производње полупроводника, неки процеси ће генерисати високе температуре, а рука робота мора одржавати прецизан рад у окружењу високе температуре. Технологија термичког прскања осигурава да се рука робота не деформише или деградира на високим температурама тако што се површину роботске руке облаже материјалима са високом температурном стабилношћу, чиме се побољшава поузданост и прецизност целокупне производне линије.

4. Примена антистатичког премаза додатно побољшава перформансе руке робота. Облатне су веома осетљиве на статички електрицитет, а акумулација статичког електрицитета може изазвати контаминацију површине плочице или оштећење електронских уређаја. Кроз технологију термичког прскања, на површини руке робота може се формирати антистатички премаз, који ефикасно смањује стварање статичког електрицитета, штити плочицу од оштећења статичким електрицитетом и осигурава квалитет и сигурност производа.

5. Технологија термичког прскања такође може да смањи контаминацију честицама руке робота током рада. У производњи полупроводника, свака контаминација ситним честицама може утицати на квалитет плочице. Коришћењем технологије термичког прскања може се формирати глатка и густа превлака на површини руке робота, смањујући осипање честица, одржавајући чистоћу производног окружења, а самим тим и побољшавајући принос производа.