Постоље обложено СиЦ

Са дугогодишњим искуством у производњи графитних делова обложених СиЦ, Ветек Семицондуцтор може да испоручи широк спектар постоља обложених СиЦ. Висококвалитетно постоље обложено СиЦ може задовољити многе апликације, ако вам је потребно, молимо вас да добијете нашу правовремену услугу на мрежи о постољу обложеном СиЦ. Поред листе производа испод, такође можете прилагодити свој јединствени постоље обложено СиЦ према вашим специфичним потребама.

У поређењу са другим методама, као што су МБЕ, ЛПЕ, ПЛД, МОЦВД метода има предности веће ефикасности раста, боље контроле тачности и релативно ниске цене, и широко се користи у тренутној индустрији. Са све већом потражњом за полупроводничким епитаксијалним материјалима, посебно за широким спектром оптоелектронских епитаксијалних материјала као што су ЛД и ЛЕД, веома је важно усвојити нове дизајне опреме за даље повећање производних капацитета и смањење трошкова.

Међу њима, графитна посуда напуњена супстратом који се користи у МОЦВД епитаксијалном расту је веома важан део МОЦВД опреме. Графитна посуда која се користи у епитаксијалном расту нитрида групе ИИИ, како би се избегла корозија амонијака, водоника и других гасова на графиту, генерално на површини графитне ладице биће обложена танким униформним заштитним слојем силицијум карбида. У епитаксијалном расту материјала, уједначеност, конзистенција и топлотна проводљивост заштитног слоја силицијум карбида су веома високи, а постоје одређени захтеви за његов животни век. Ветек Семицондуцтор'с СиЦ обложен постоље смањује трошкове производње графитних палета и побољшава њихов радни век, што има велику улогу у смањењу трошкова МОЦВД опреме.

Постоље обложено СиЦ-ом је такође важан део МОЦВД реакционе коморе, што ефективно побољшава ефикасност производње.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Производне радње:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: