ВеТек Семицондуцтор-ов производ, производи за облагање од тантал карбида (ТаЦ) за процес раста монокристала СиЦ, решава изазове повезане са интерфејсом раста кристала силицијум карбида (СиЦ), посебно свеобухватним дефектима који се јављају на ивици кристала. Применом ТаЦ премаза, циљ нам је да побољшамо квалитет раста кристала и повећамо ефективну површину центра кристала, што је кључно за постизање брзог и густог раста.
ТаЦ премаз је основно технолошко решење за узгој висококвалитетног СиЦ процеса раста монокристала. Успешно смо развили технологију ТаЦ премаза коришћењем хемијског таложења паре (ЦВД), која је достигла међународно напредан ниво. ТаЦ има изузетна својства, укључујући високу тачку топљења до 3880°Ц, одличну механичку чврстоћу, тврдоћу и отпорност на термички удар. Такође показује добру хемијску инертност и термичку стабилност када је изложен високим температурама и супстанцама као што су амонијак, водоник и пара која садржи силицијум.
ВеТек Семицондуцтор-ов премаз од тантал-карбида (ТаЦ) нуди решење за решавање проблема везаних за ивице у процесу раста СиЦ монокристала, побољшавајући квалитет и ефикасност процеса раста. Са нашом напредном технологијом ТаЦ премаза, циљ нам је да подржимо развој индустрије полупроводника треће генерације и смањимо зависност од увозних кључних материјала.
ТаЦ обложена лончића, држач семена са ТаЦ премазом, ТаЦ премаз Водећи прстен су важни делови у СиЦ и АИН монокристалној пећи ПВТ методом.
- Отпорност на високе температуре
-Висока чистоћа, неће загађивати СиЦ сировине и СиЦ монокристале.
- Отпоран на Ал пару и Н₂корозију
-Висока еутектичка температура (са АлН) за скраћивање циклуса припреме кристала.
- Може се рециклирати (до 200х), побољшава одрживост и ефикасност припреме таквих монокристала.
Физичка својства ТаЦ превлаке | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5 Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор носача графитних плочица обложених ТаЦ-ом у Кини. Специјализовани смо за СиЦ и ТаЦ премазе дуги низ година. Наш ТаЦ-обложен графитни носач плочице има вишу температурну отпорност и отпорност на хабање. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит