ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Царриер

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор носача графитних плочица обложених ТаЦ-ом у Кини. Специјализовани смо за СиЦ и ТаЦ премазе дуги низ година. Наш ТаЦ-обложен графитни носач плочице има вишу температурну отпорност и отпорност на хабање. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Можете бити сигурни да ћете купити прилагођени ТаЦ обложен графитни носач од ВеТек Семицондуцтор-а. Радујемо се сарадњи са вама, ако желите да сазнате више, можете нас консултовати сада, ми ћемо вам одговорити на време!

ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Царриер директно ступа у интеракцију са плочицама у епитаксијском реактору, побољшавајући ефикасност и перформансе. Са опцијом премаза од силицијум карбида или тантал карбида, ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Царриер нуди продужени животни век, до 2-3 пута дужи са тантал карбидом. Компатибилан са различитим моделима машина, укључујући ЛПЕ СиЦ епитаксијске пећи, ЈСГ, НАСО епитаксијалне пећи.

ВеТек Семицондуцтор ТаЦ обложен графитни носач обезбеђује прецизну стехиометрију реакције, спречава миграцију нечистоћа и одржава температурну стабилност изнад 2000°Ц. Показује изузетну отпорност на Х2, НХ3, СиХ4 и Си, штитећи од оштрих хемијских окружења. Издржавајући топлотне ударе, омогућава брзе радне циклусе без раслојавања премаза.

ВеТек Семицондуцтор ТаЦ премаз гарантује ултра-високу чистоћу, елиминише нечистоће и обезбеђује конформну покривеност која испуњава строге толеранције димензија. Са ВеТек Семицондуцтор напредним могућностима обраде графита, опремљени смо да задовољимо ваше потребе прилагођавања. Било да су вам потребне услуге премазивања или свеобухватна решења, наш тим стручних инжењера је спреман да дизајнира савршено решење за ваше специфичне апликације. Верујте нам да испоручимо висококвалитетне производе прилагођене вашим захтевима и очекивањима.

ПВТ метода Раст кристала СиЦ

Параметар производа ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Царриер

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10-5 Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)