ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:
• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• Наполитанке и постоља
СиЦ конзолно весло СиЦ процесне цеви Процесна цев од силицијум карбида СиЦ вертикални чамац за плочице СиЦ хоризонтални чамац СиЦ хоризонтали куаре вафер боат СиЦ ЛПЦВД чамац за плочице СиЦ чамац са хоризонталним плочама СиЦ округли чамац
Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:
Фокусни прстенови
Млазнице
Штитови
Сховерхеадс
Прозори / поклопци
Друге прилагођене компоненте
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.
• Дифузори
• Изолатори
• Сусцептори
• Друге прилагођене термичке компоненте
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ / СиЦ | > 99,96% |
Си / Фрее Си садржај | < 0,1% |
Спец.густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добар |
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује СиЦ процесне цеви високих перформанси за производњу полупроводника. Наше СиЦ процесне цеви се истичу у процесима оксидације, дифузије. Са врхунским квалитетом и умећем израде, ове цеви нуде стабилност при високим температурама и топлотну проводљивост за ефикасну обраду полупроводника. Нудимо конкурентне цене и настојимо да будемо ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор-ово СиЦ конзолно весло је производ веома високих перформанси. Наша СиЦ конзолна лопатица се обично користи у пећима за термичку обраду за руковање и подржавање силицијумских плочица, хемијско таложење паре (ЦВД) и друге процесе обраде у процесима производње полупроводника. Висока температурна стабилност и висока топлотна проводљивост СиЦ материјала обезбеђују високу ефикасност и поузданост у процесу обраде полупроводника. Посвећени смо пружању висококвалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач у Кини за чамац од силицијум карбида за хоризонталне пећи, са дугогодишњим искуством у истраживању и развоју и производњи, може добро контролисати квалитет и понудити конкурентну цену. Можете бити сигурни да ћете купити чамац од силицијум карбида за хоризонталну пећ од нас.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач у Кини за СиЦ обложене плочице од силицијум карбида, са дугогодишњим искуством у истраживању и развоју и производњи, може добро контролисати квалитет и понудити конкурентну цену. Добродошли у посету нашој фабрици и даљу дискусију о сарадњи.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор-ова конзолна лопатица од силицијум карбида је важна компонента у процесу производње полупроводника, посебно погодна за дифузионе пећи или ЛПЦВД пећи у високотемпературним процесима као што су дифузија и РТП. Наша конзолна лопатица од силицијум карбида је пажљиво дизајнирана и произведена са одличном отпорношћу на високе температуре и механичком чврстоћом, и може безбедно и поуздано да транспортује плочице до процесне цеви под тешким процесним условима за различите процесе на високим температурама као што су дифузија и РТП. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор Хигх Пуре Силицон Царбиде Вафер Царриер су важне компоненте у обради полупроводника, дизајниране да безбедно држе и транспортују деликатне силицијумске плочице, играјући кључну улогу у свим фазама производње. ВеТек Семицондуцтор-ови носачи плочица високог чистог силицијум карбида су пажљиво дизајнирани и произведени да обезбеде одличне перформансе и поузданост. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит