ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:
• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• Наполитанке и постоља
СиЦ конзолно весло СиЦ процесне цеви Процесна цев од силицијум карбида СиЦ вертикални чамац за плочице СиЦ хоризонтални чамац СиЦ хоризонтали куаре вафер боат СиЦ ЛПЦВД чамац за плочице СиЦ чамац са хоризонталним плочама СиЦ округли чамац
Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:
Фокусни прстенови
Млазнице
Штитови
Сховерхеадс
Прозори / поклопци
Друге прилагођене компоненте
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.
• Дифузори
• Изолатори
• Сусцептори
• Друге прилагођене термичке компоненте
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ / СиЦ | > 99,96% |
Си / Фрее Си садржај | < 0,1% |
Спец.густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добар |
ВеТек Семицондуцтор-ов чамац од силицијум карбидних плочица високе чистоће је направљен од изузетно чистог материјала силицијум карбида са одличном термичком стабилношћу, механичком чврстоћом и хемијском отпорношћу. Силицијум карбидна плочица високе чистоће се користи у апликацијама у врућим зонама у производњи полупроводника, посебно у окружењима са високим температурама, и игра важну улогу у заштити плочица, транспорту материјала и одржавању стабилних процеса. ВеТек Семицондуцтор ће наставити да напорно ради на иновацијама и побољшању перформанси силицијум карбидних плочица високе чистоће како би задовољио растуће потребе производње полупроводника. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач, посвећен пружању висококвалитетног праха ултра чистог силицијум карбида за раст кристала. Са чистоћом до 99,999% теж. и изузетно ниским нивоом нечистоћа азота, бора, алуминијума и других загађивача, посебно је дизајниран да побољша полуизолациона својства силицијум карбида високе чистоће. Добродошли да се распитате и сарађујете са нама!
ОпширнијеПошаљи упит