ВеТек Семицондуцтор је специјализован за производњу ултра чистих производа од силицијум карбида, ови премази су дизајнирани да се примењују на пречишћени графит, керамику и ватросталне металне компоненте.
Наши премази високе чистоће првенствено су намењени за употребу у индустрији полупроводника и електронике. Они служе као заштитни слој за носаче плочице, пријемнике и грејне елементе, штитећи их од корозивних и реактивних окружења на које се сусрећу у процесима као што су МОЦВД и ЕПИ. Ови процеси су саставни део обраде плочица и производње уређаја. Поред тога, наши премази су погодни за примену у вакуумским пећима и загревању узорака, где се сусрећу са високим вакуумом, реактивним и кисеоником.
У ВеТек Семицондуцтор-у нудимо свеобухватно решење са нашим напредним могућностима у машинској радњи. Ово нам омогућава да производимо основне компоненте коришћењем графита, керамике или ватросталних метала и наносимо СиЦ или ТаЦ керамичке премазе у компанији. Такође пружамо услуге премазивања делова које испоручује купац, обезбеђујући флексибилност за испуњавање различитих потреба.
Наши производи премази од силицијум карбида се широко користе у Си епитаксији, СиЦ епитаксији, МОЦВД систему, РТП/РТА процесу, процесу гравирања, ИЦП/ПСС процесу гравирања, процесу различитих типова ЛЕД, укључујући плаву и зелену ЛЕД, УВ ЛЕД и дубоку УВ ЛЕД итд., који је прилагођен опреми из ЛПЕ, Аиктрон, Веецо, Нуфларе, ТЕЛ, АСМ, Аннеалсис, ТСИ и тако даље.
Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке | |
Имовина | Типична вредност |
Цристал Струцтуре | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
Густина | 3,21 г/цм³ |
Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
Величина зрна | 2~10μм |
Хемијска чистоћа | 99,99995% |
Хеат Цапацити | 640 Ј·кг-1·К-1 |
Сублиматион Температуре | 2700℃ |
Флекурал Стренгтх | 415 МПа РТ 4 тачке |
Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
Тхермал Цондуцтивити | 300В·м-1·К-1 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6К-1 |
ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор главе за туширање са чврстим СиЦ гасом у Кини. Специјализовани смо за полупроводничке материјале дуги низ година. ВеТек Семицондуцтор Солид СиЦ Гас Сховер Хеад дизајн са више порозности обезбеђује да се топлота која се генерише у ЦВД процесу може дисперговати , осигуравајући да се супстрат загрева равномерно. Радујемо се постављању дугорочног са вама у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор ивичних прстенова од чврстог СиЦ у процесу хемијског таложења и иноватор у Кини. Специјализовани смо за полупроводничке материјале дуги низ година. ВеТек Семицондуцтор чврсти СиЦ ивични прстен нуди побољшану униформност нагризања и прецизно позиционирање плочице када се користи са електростатичком стезном главом , обезбеђујући доследне и поуздане резултате јеткања. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кина.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор прстена за фокусирање на чврстом СиЦ-у. Специјализовани смо за СиЦ материјал дуги низ година. Чврсти СиЦ је изабран као материјал за прстен за фокусирање због одличне термохемијске стабилности, високе механичке чврстоће и отпорности на плазму ерозија. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит