ВеТек Семицондуцтор је специјализован за производњу ултра чистих производа од силицијум карбида, ови премази су дизајнирани да се примењују на пречишћени графит, керамику и ватросталне металне компоненте.
Наши премази високе чистоће првенствено су намењени за употребу у индустрији полупроводника и електронике. Они служе као заштитни слој за носаче плочице, пријемнике и грејне елементе, штитећи их од корозивних и реактивних окружења на које се сусрећу у процесима као што су МОЦВД и ЕПИ. Ови процеси су саставни део обраде плочица и производње уређаја. Поред тога, наши премази су погодни за примену у вакуумским пећима и загревању узорака, где се сусрећу са високим вакуумом, реактивним и кисеоником.
У ВеТек Семицондуцтор-у нудимо свеобухватно решење са нашим напредним могућностима у машинској радњи. Ово нам омогућава да производимо основне компоненте коришћењем графита, керамике или ватросталних метала и наносимо СиЦ или ТаЦ керамичке премазе у компанији. Такође пружамо услуге премазивања делова које испоручује купац, обезбеђујући флексибилност за испуњавање различитих потреба.
Наши производи премази од силицијум карбида се широко користе у Си епитаксији, СиЦ епитаксији, МОЦВД систему, РТП/РТА процесу, процесу гравирања, ИЦП/ПСС процесу гравирања, процесу различитих типова ЛЕД, укључујући плаву и зелену ЛЕД, УВ ЛЕД и дубоку УВ ЛЕД итд., који је прилагођен опреми из ЛПЕ, Аиктрон, Веецо, Нуфларе, ТЕЛ, АСМ, Аннеалсис, ТСИ и тако даље.
Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке | |
Имовина | Типична вредност |
Цристал Струцтуре | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
Густина | 3,21 г/цм³ |
Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
Величина зрна | 2~10μм |
Хемијска чистоћа | 99,99995% |
Хеат Цапацити | 640 Ј·кг-1·К-1 |
Сублиматион Температуре | 2700℃ |
Флекурал Стренгтх | 415 МПа РТ 4 тачке |
Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
Тхермал Цондуцтивити | 300В·м-1·К-1 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6К-1 |
ЦВД СиЦ обложена вафера Држач бачве је кључна компонента епитаксијалне пећи за раст, која се широко користи у МОЦВД епитаксијалним пећима за раст. ВеТек Семицондуцтор вам пружа производе који су веома прилагођени. Без обзира на ваше потребе за ЦВД СиЦ обложеним држачем за вафере, добродошли да нас консултујете.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор ЦВД СиЦ облога буре сусцептор је основна компонента епитаксијалне пећи типа бурета. Уз помоћ ЦВД СиЦ обложеног бачвастог суцептора, количина и квалитет епитаксијалног раста су значајно побољшани. ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач СиЦ Цо. Баррел Сусцептор, и на водећем је нивоу у Кини, па чак иу свету. ВеТек Семицондуцтор се радује успостављању блиске сарадње са вама у индустрији полупроводника.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор ЦВД СиЦ премаз Епи сусцептор је незаменљива компонента за раст СиЦ епитаксије, нуди супериорно управљање топлотом, хемијску отпорност и димензиону стабилност. Одабиром ВеТек Семицондуцтор-овог ЦВД СиЦ обложеног Епи сусцептора, побољшавате перформансе ваших МОЦВД процеса, што доводи до вишег квалитета производа и веће ефикасности у вашим производним операцијама полупроводника. Добродошли на ваше даље упите.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор ЦВД СиЦ премаз графитног сусцептора је једна од важних компоненти у индустрији полупроводника као што су епитаксијални раст и обрада плочица. Користи се у МОЦВД и другој опреми за подршку обради и руковању плочицама и другим високо прецизним материјалима. ВеТек Семицондуцтор има водеће кинеске СиЦ обложене графитне сусцепторе и ТаЦ обложене графитне сусцепторе производне и производне могућности, и радује се вашој консултацији.
ОпширнијеПошаљи упитЦВД СиЦ премаз Грејни елемент игра кључну улогу у загревању материјала у ПВД пећи (таложење испаравањем). ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач грејних елемената обложених ЦВД СиЦ у Кини. Имамо напредне могућности ЦВД премаза и можемо вам пружити прилагођене производе ЦВД СиЦ премаза. ВеТек Семицондуцтор се радује што ће постати ваш партнер у грејном елементу обложеном СиЦ.
ОпширнијеПошаљи упитГрафитни ротирајући пријемник високе чистоће игра важну улогу у епитаксијалном расту галијум нитрида (МОЦВД процес). ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач графитних ротирајућих носача у Кини. Развили смо многе производе од графита високе чистоће засноване на графитним материјалима високе чистоће, који у потпуности испуњавају захтеве индустрије полупроводника. ВеТек Семицондуцтор се радује што ће постати ваш партнер у Ротатинг Грапхите суцептору.
ОпширнијеПошаљи упит