ВеТек Семицондуцтор је специјализован за производњу ултра чистих производа од силицијум карбида, ови премази су дизајнирани да се примењују на пречишћени графит, керамику и ватросталне металне компоненте.
Наши премази високе чистоће првенствено су намењени за употребу у индустрији полупроводника и електронике. Они служе као заштитни слој за носаче плочице, пријемнике и грејне елементе, штитећи их од корозивних и реактивних окружења на које се сусрећу у процесима као што су МОЦВД и ЕПИ. Ови процеси су саставни део обраде плочица и производње уређаја. Поред тога, наши премази су погодни за примену у вакуумским пећима и загревању узорака, где се сусрећу са високим вакуумом, реактивним и кисеоником.
У ВеТек Семицондуцтор-у нудимо свеобухватно решење са нашим напредним могућностима у машинској радњи. Ово нам омогућава да производимо основне компоненте коришћењем графита, керамике или ватросталних метала и наносимо СиЦ или ТаЦ керамичке премазе у компанији. Такође пружамо услуге премазивања делова које испоручује купац, обезбеђујући флексибилност за испуњавање различитих потреба.
Наши производи премази од силицијум карбида се широко користе у Си епитаксији, СиЦ епитаксији, МОЦВД систему, РТП/РТА процесу, процесу гравирања, ИЦП/ПСС процесу гравирања, процесу различитих типова ЛЕД, укључујући плаву и зелену ЛЕД, УВ ЛЕД и дубоку УВ ЛЕД итд., који је прилагођен опреми из ЛПЕ, Аиктрон, Веецо, Нуфларе, ТЕЛ, АСМ, Аннеалсис, ТСИ и тако даље.
Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке | |
Имовина | Типична вредност |
Цристал Струцтуре | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
Густина | 3,21 г/цм³ |
Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
Величина зрна | 2~10μм |
Хемијска чистоћа | 99,99995% |
Хеат Цапацити | 640 Ј·кг-1·К-1 |
Сублиматион Температуре | 2700℃ |
Флекурал Стренгтх | 415 МПа РТ 4 тачке |
Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
Тхермал Цондуцтивити | 300В·м-1·К-1 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6К-1 |
Као водећи произвођач и добављач производа од силицијум карбидних плочица у Кини, ВеТек Семицондуцтор-ова силицијум карбидна стезна глава игра незаменљиву улогу у епитаксијалном процесу раста са својом одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на хемијску корозију и отпорношћу на топлотни удар. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач производа за туш главе од силицијум карбида у Кини. СиЦ туш глава има одличну толеранцију на високе температуре, хемијску стабилност, топлотну проводљивост и добре перформансе дистрибуције гаса, што може постићи уједначену дистрибуцију гаса и побољшати квалитет филма. Због тога се обично користи у процесима на високим температурама као што су хемијско таложење паре (ЦВД) или физичко таложење паре (ПВД). Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и фабрика производа за заптивне прстенове од силицијум карбида у Кини, ВеТек Семицондуцтор Силицијум карбидни заптивни прстен се широко користи у опреми за обраду полупроводника због своје одличне отпорности на топлоту, отпорности на корозију, механичке чврстоће и топлотне проводљивости. Посебно је погодан за процесе који укључују високе температуре и реактивне гасове као што су ЦВД, ПВД и плазма јеткање, и представља кључни избор материјала у процесу производње полупроводника. Ваша даља питања су добродошла.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и лидер производа за држаче вафла обложених СиЦ у Кини. Држач плочице обложен СиЦ је држач плочице за процес епитаксије у обради полупроводника. То је незаменљив уређај који стабилизује плочицу и обезбеђује равномеран раст епитаксијалног слоја. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и фабрика Епи Вафер Холдер-а у Кини. Епи Вафер Холдер је држач плочице за процес епитаксије у обради полупроводника. То је кључно средство за стабилизацију плочице и обезбеђивање равномерног раста епитаксијалног слоја. Широко се користи у опреми за епитаксију као што су МОЦВД и ЛПЦВД. То је незаменљив уређај у процесу епитаксије. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и иноватор производа Аиктрон Сателлите Вафер Царриер у Кини, ВеТек Семицондуцтор'с Аиктрон Сателлите Вафер Царриер је носач плочице који се користи у АИКСТРОН опреми, углавном се користи у МОЦВД процесима у обради полупроводника, а посебно је погодан за високе температуре и високе прецизности. процеси обраде полупроводника. Носач може да обезбеди стабилну подршку за плочице и равномерно таложење филма током МОЦВД епитаксијалног раста, што је неопходно за процес наношења слојева. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упит