Силиконско постоље

ВеТек Семицондуцтор силицијумски сусцептор је производ од чистог силикона дизајниран да обезбеди стабилност температуре у цеви термичког реактора током обраде силицијумске плочице, чиме се побољшава ефикасност топлотне изолације. Обрада силицијумске плочице је изузетно прецизан процес, а температура игра кључну улогу, директно утиче на дебљину и уједначеност филма силицијумске плочице.

Силицијумски постоље се налази у доњем делу цеви топлотног реактора пећи, подржавајући силицијумносач вафлаистовремено обезбеђујући ефикасну топлотну изолацију. На крају процеса, постепено се хлади до температуре околине заједно са носачем силицијумске плочице.

Основне функције и предности ВеТек полупроводничких силиконских постоља:

Обезбедите стабилну подршку како бисте осигурали тачност процеса

Силиконско постоље пружа стабилну и високо отпорну платформу за подршку силиконском чамцу у високотемпературној комори пећи. Ова стабилност може ефикасно спречити силиконски чамац од померања или нагињања током обраде, чиме се избегава утицај на уједначеност протока ваздуха или уништавање расподеле температуре, обезбеђујући високу прецизност и доследност процеса.

Повећајте уједначеност температуре у пећи и побољшајте квалитет вафла

Изолацијом силиконског чамца од директног контакта са дном или зидом пећи, силиконска база може смањити губитак топлоте узрокован проводљивошћу, чиме се постиже равномернија расподела температуре у цеви за термичку реакцију. Ово уједначено термално окружење је од суштинског значаја за постизање уједначености дифузије плочице и оксидног слоја, увелико побољшавајући укупни квалитет плочице.

Оптимизирајте перформансе топлотне изолације и смањите потрошњу енергије

Одлична својства топлотне изолације силицијумског основног материјала помажу у смањењу губитка топлоте у комори пећи, чиме се значајно побољшава енергетска ефикасност процеса. Овај ефикасан механизам за управљање топлотом не само да убрзава циклус грејања и хлађења, већ и смањује потрошњу енергије и оперативне трошкове, пружајући економичније решење за производњу полупроводника.

Спецификације ВеТек Семицондуцтор Силиконског постоља

ВеТек Семицондуцтор Силицон Педестал производне радње