Кина Чврсти силицијум карбид Мануфацтурер, Супплиер, Фацтори

ВеТек Семицондуцтор Солид Силицон Царбиде је важна керамичка компонента у опреми за плазма гравирање, чврсти силицијум карбид (ЦВД силицијум карбид) делови у опреми за бакропис укључујупрстенови за фокусирање, гасни туш, посуда, ивични прстенови, итд. Због ниске реактивности и проводљивости чврстог силицијум карбида (ЦВД силицијум карбида) према гасовима за нагризање који садрже хлор и флуор, идеалан је материјал за опрему за плазма јеткање, прстенове за фокусирање и друге компоненте.

На пример, фокусни прстен је важан део постављен изван плочице и у директном контакту са плочицом, применом напона на прстен за фокусирање плазме која пролази кроз прстен, чиме се плазма фокусира на плочицу како би се побољшала униформност обрада. Традиционални фокусни прстен је направљен од силикона иликварц, проводни силицијум као уобичајени материјал фокусног прстена, скоро је близу проводљивости силицијумских плочица, али недостатак је лоша отпорност на нагризање у плазми која садржи флуор, материјали за делове машина за гравирање који се често користе у одређеном временском периоду, биће озбиљних појава корозије, што озбиљно смањује његову ефикасност производње.

Sчврсти СиЦ фокусни прстенПринцип рада：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Поређење прстена за фокусирање на бази Си и ЦВД СиЦ прстена за фокусирање:

Поређење прстена за фокусирање на бази Си и ЦВД СиЦ прстена за фокусирање
Ставка	И	ЦВД СиЦ
Густина (г/цм³)	2.33	3.21
Појасни размак (еВ)	1.12	2.3
Топлотна проводљивост (В/цм℃)	1.5	5
ЦТЕ (к10^-6/℃)	2.6	4
Модул еластичности (ГПа)	150	440
Тврдоћа (ГПа)	11.4	24.5
Отпорност на хабање и корозију	Јадно	Одлично

ВеТек Семицондуцтор нуди напредне делове од чврстог силицијум карбида (ЦВД силицијум карбида) као што су СиЦ прстенови за фокусирање за полупроводничку опрему. Наши чврсти прстенови за фокусирање од силицијум карбида надмашују традиционални силицијум у погледу механичке чврстоће, хемијске отпорности, топлотне проводљивости, издржљивости на високим температурама и отпорности на јонско нагризање.

Кључне карактеристике наших СиЦ прстенова за фокусирање укључују:

Висока густина за смањене стопе јеткања.

Одлична изолација са великим размаком појаса.

Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења.

Врхунска отпорност на механичке ударе и еластичност.

Висока тврдоћа, отпорност на хабање и отпорност на корозију.

Произведено коришћењемхемијско таложење испареним путем плазмом (ПЕЦВД)технике, наши СиЦ прстенови за фокусирање испуњавају све веће захтеве процеса јеткања у производњи полупроводника. Дизајнирани су да издрже већу снагу и енергију плазме, посебно укапацитивно спрегнута плазма (ЦЦП)система.

ВеТек Семицондуцтор-ови СиЦ прстенови за фокусирање пружају изузетне перформансе и поузданост у производњи полупроводничких уређаја. Изаберите наше СиЦ компоненте за врхунски квалитет и ефикасност.

View as

Глава туша са чврстим СиЦ гасом

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор главе за туширање са чврстим СиЦ гасом у Кини. Специјализовани смо за полупроводничке материјале дуги низ година. ВеТек Семицондуцтор Солид СиЦ Гас Сховер Хеад дизајн са више порозности обезбеђује да се топлота која се генерише у ЦВД процесу може дисперговати , осигуравајући да се супстрат загрева равномерно. Радујемо се постављању дугорочног са вама у Кини.

Опширније Пошаљи упит

Процес хемијског таложења паром Чврсти СиЦ ивични прстен

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор прстенова од чврстог СиЦ-а у процесу хемијског таложења и иноватора у Кини. Специјализовани смо за полупроводничке материјале дуги низ година. ВеТек Семицондуцтор чврсти СиЦ ивични прстен нуди побољшану униформност нагризања и прецизно позиционирање плочице када се користи са електростатичком стезном главом , обезбеђујући доследне и поуздане резултате јеткања. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Опширније Пошаљи упит

Чврсти СиЦ прстен за фокусирање за гравирање

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор прстена за фокусирање на чврстом СиЦ-у. Специјализовани смо за СиЦ материјал дуги низ година. Чврсти СиЦ је изабран као материјал за прстен за фокусирање због одличне термохемијске стабилности, високе механичке чврстоће и отпорности на плазму ерозија. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Опширније Пошаљи упит

<1 2 >

Као професионални Чврсти силицијум карбид произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Било да су вам потребне прилагођене услуге да бисте задовољили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Чврсти силицијум карбид произведене у Кини, можете нам оставити поруку.