Прстен обложен тантал карбидом

ВеТек полупроводнички прстен обложен тантал карбидом је направљен одграфити обложен тантал карбидом, комбинацијом која користи најбоља својства оба материјала како би се осигурале врхунске перформансе и дуговечност. 

ТаЦ премаз на прстену за облагање од тантал карбида осигурава да остане хемијски инертан у реактивним атмосферама пећи за раст кристала СиЦ, које често укључују гасове као што су водоник, аргон и азот. Ова хемијска инертност је од виталног значаја за спречавање било какве контаминације растућег кристала, што би могло довести до дефеката и смањених перформанси финалних полупроводничких производа. Додатно, термичка стабилност коју обезбеђује ТаЦ премаз омогућава да прстен за облагање тантал карбида ефикасно ради на високим температурама потребним за раст кристала СиЦ, обично преко 2000°Ц.

Механичка својства ТаЦ-а у великој мери смањују хабање и хабање прстена за премазивање од тантал карбида. Ово је кључно због понављајуће природе процеса раста кристала, који излаже водећи прстен честим термичким циклусима и механичким напрезањима. Тврдоћа и отпорност на хабање ТаЦ-а осигуравају да ТаЦ обложени прстен задржи свој структурни интегритет и прецизне димензије током дугих периода, минимизирајући потребу за честим заменама и смањујући застоје у процесу производње. 

Поред тога, комбинација графита и ТаЦ у прстену за премазивање од тантал карбида оптимизује управљање топлотом унутар пећи за раст кристала. Висока топлотна проводљивост графита ефикасно дистрибуира топлоту, спречавајући вруће тачке и подстичући равномеран раст кристала. У међувремену, ТаЦ премаз служи као топлотна баријера, штитећи графитно језгро од директног излагања високим температурама и реактивним гасовима. Ова синергија између материјала језгра и материјала за облагање резултира прстеном за вођење који не само да издржава тешке условеРаст кристала СиЦали и побољшава укупну ефикасност и квалитет процеса.

ВеТек полупроводнички прстен обложен тантал карбидом је суштинска компонента у индустрији полупроводника, посебно дизајнирана за растКристали силицијум карбида. Његов дизајн користи снагу графита и тантал карбида да пружи изузетне перформансе у окружењима са високим температурама и високим стресом. ТаЦ премаз осигурава хемијску инертност, механичку издржљивост и термичку стабилност, а све су то критичне за производњу висококвалитетних СиЦ кристала. Одржавајући свој интегритет и функционалност у екстремним условима, прстен подржава ефикасан раст СиЦ кристала без дефеката, доприносећи напретку полупроводничких уређаја велике снаге и високе фреквенције.

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављачТантал-карбид премаз, Премаз од силицијум карбидаиСпецијални графиту Кини. Дуго смо посвећени пружању напредне технологије и решења за производе за индустрију полупроводника, и искрено се надамо да ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Тантал карбид (ТаЦ) премазна микроскопском пресеку：

Преглед наланац индустрије епитаксије полупроводничких чипова：