Водећи прстенови за ТаЦ премаз

Као водећи произвођач ТаЦ Цоатинг Гуиде Рингс производа у Кини, ВеТек Семицондуцтор ТаЦ обложени водећи прстенови су важне компоненте у МОЦВД опреми, обезбеђујући тачну и стабилну испоруку гаса током епитаксијалног раста, и незаменљив су материјал у епитаксијалном расту полупроводника. Добродошли да нас консултујете.

Пошаљи упит

Опис производа

Функција водећих прстенова за ТаЦ премаз:

Прецизна контрола протока гаса: ТхеВодећи прстен за ТаЦ премазје стратешки позициониран унутар система за убризгавање гасаМОЦВД реактор. његова примарна функција је да усмерава проток гасова прекурсора и обезбеди њихову равномерну дистрибуцију по површини подлоге. Ова прецизна контрола над динамиком протока гаса је неопходна за постизање равномерног раста епитаксијалног слоја и жељених својстава материјала.

Тхермал Манагемент: Водећи прстенови за ТаЦ премаз често раде на повишеним температурама због њихове близине загрејаном пријемнику и подлози. ТаЦ-ова одлична топлотна проводљивост помаже у ефикасном расипању топлоте, спречавајући локализовано прегревање и одржавајући стабилан температурни профил унутар реакционе зоне.

Предности ТаЦ-а у МОЦВД-у:

Отпорност на екстремне температуре: ТаЦ има једну од највиших тачака топљења међу свим материјалима, која прелази 3800°Ц.

Изванредна хемијска инертност: ТаЦ показује изузетну отпорност на корозију и хемијске нападе од реактивних прекурсора гасова који се користе у МОЦВД, као што су амонијак, силан и различита метал-органска једињења.

Физичка својстваТаЦ премаз:

Физичка својстваТаЦ премаз
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6,3*10^-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10^-5Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)

Предности МОЦВД перформанси:

Употреба ВеТек полупроводничког ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг у МОЦВД опреми значајно доприноси:

Повећано време рада опреме: Издржљивост и продужени животни век ТаЦ водећег прстена за премазивање смањују потребу за честим заменама, минимизирајући застоје у одржавању и максимизирајући оперативну ефикасност МОЦВД система.

Побољшана стабилност процеса: Термичка стабилност и хемијска инертност ТаЦ доприносе стабилнијем и контролисаном реакционом окружењу унутар МОЦВД коморе, минимизирајући варијације процеса и побољшавајући поновљивост.

Побољшана униформност епитаксијалног слоја: Прецизна контрола протока гаса олакшана ТаЦ прстеновима за вођење премаза обезбеђује уједначену дистрибуцију прекурсора, што резултира веома уједначенимраст епитаксијалног слојаса доследном дебљином и саставом.

Тантал карбид (ТаЦ) премазна микроскопском пресеку:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Хот Тагс: Водећи прстенови за ТаЦ премаз, произвођач, добављач, ТаЦ прстен за премазивање за МОЦВД, прилагођени, водећи прстен за ТаЦ премаз, издржљив, произведен у Кини

Ознака производа

Повезана категорија