ЕПИ прималац

ВеТек Семицондуцтор-ов ЕПИ сусцептор је дизајниран за захтевне апликације епитаксијалне опреме. Његова графитна структура обложена силицијум карбидом високе чистоће (СиЦ) нуди одличну отпорност на топлоту, уједначену топлотну униформност за конзистентну дебљину епитаксијалног слоја и отпорност, и дуготрајну хемијску отпорност. Радујемо се сарадњи са вама.

Пошаљи упит

Опис производа

ВеТек Семицондуцтор је професионални лидер у Кини ЕПИ пријемник, АЛД планетарни пријемник, ТаЦ обложен графитни произвођач.

ВеТек Семицондуцтор-ов ЕПИ сусцептор је важна компонента епитаксијалног раста у процесу производње полупроводника. Његова главна функција је да подупире и загрева плочицу тако да се висококвалитетни епитаксијални слој може равномерно развити на површини вафла.

ВеТек Семицондуцторс ЕПИ пријемници су обично направљени од графита високе чистоће и обложени слојем силицијум карбида (СиЦ). Овај дизајн има следеће кључне предности:

Стабилност високе температуре: ЕПИ пријемник може остати стабилан у окружењу високе температуре, обезбеђујући уједначен раст епитаксијалног слоја.

Отпорност на корозију: СиЦ премаз има одличну отпорност на корозију и може да се одупре ерозији хемијских гасова, продужавајући век трајања посуде.

Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост СиЦ материјала обезбеђује равномерну дистрибуцију температуре плочице током загревања, чиме се побољшава квалитет епитаксијалног слоја.

Усклађивање коефицијента топлотног ширења: Коефицијент топлотног ширења СиЦ-а је сличан коефицијенту графита, избегавајући проблем осипања премаза услед термичког ширења и контракције.

Основна физичка својстваЕПИ прималац: