Сусцептор графитне цеви обложен СиЦ за ЕПИ

ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач, добављач и извозник за графитне цеви обложене СиЦ-ом за ЕПИ. Уз подршку професионалног тима и водеће технологије, ВеТек Семицондуцтор вам може пружити висок квалитет по разумним ценама. поздрављамо вас да посетите нашу фабрику за даљу дискусију.

Пошаљи упит

Опис производа

ВеТек Семицондуцтор је произвођач и добављач у Кини који углавном производи графитне цеви обложене СиЦ-ом за ЕПИ са дугогодишњим искуством. Надам се да ћу изградити пословни однос са вама. ЕПИ (епитаксија) је критичан процес у производњи напредних полупроводника. Укључује таложење танких слојева материјала на подлогу за стварање сложених структура уређаја. СиЦ обложени графитни бачвасти пријемници за ЕПИ се обично користе као пријемници у ЕПИ реакторима због њихове одличне топлотне проводљивости и отпорности на високе температуре. Са ЦВД-СиЦ премазом, постаје отпорнији на контаминацију, ерозију и топлотни удар. Ово резултира дужим животним веком сусцептора и побољшаним квалитетом филма.

Предности нашег СиЦ обложеног графитног носача цеви:

Смањена контаминација: Инертна природа СиЦ-а спречава приањање нечистоћа на површину пријемника, смањујући ризик од контаминације депонованих филмова.

Повећана отпорност на ерозију: СиЦ је знатно отпорнији на ерозију од конвенционалног графита, што доводи до дужег животног века суцептора.

Побољшана термичка стабилност: СиЦ има одличну топлотну проводљивост и може да издржи високе температуре без значајног изобличења.

Побољшан квалитет филма: Побољшана термичка стабилност и смањена контаминација резултирају квалитетнијим нанесеним филмовима са побољшаном уједначеношћу и контролом дебљине.

Пријаве:

Графитне цеви обложене СиЦ-ом се широко користе у различитим ЕПИ апликацијама, укључујући:

ЛЕД диоде на бази ГаН

Уређаји на струју

Оптоелектронски уређаји

Транзистори високе фреквенције

Сензори

Параметар производа СиЦ Цоатед Грапхите Баррел Сусцептор

Физичка својства изостатског графита
Имовина	Јединица	Типична вредност
Спец.густина	г/цм³	1.83
Тврдоћа	ХСД	58
Електрична отпорност	мΩ.м	10
Отпорност на савијање	МПа	47
Јачина притиска	МПа	103
Затезна чврстоћа	МПа	31
Иоунгов модул	Просек оцена	11.8
Термичка експанзија (ЦТЕ)	10-6К-1	4.6
Топлотна проводљивост	В·м-1·К-1	130
Просечна величина зрна	μм	8-10
Порозност	%	10
Садржај пепела	ппм	≤10 (након пречишћавања)

Напомена: Пре премазивања, извршићемо прво пречишћавање, након премаза, друго пречишћавање.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке
Имовина	Типична вредност
Кристална структура	ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана
Густина	3,21 г/цм³
Тврдоћа	2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење)
Величине зрна	2~10μм
Хемијска чистоћа	99,99995%
Топлотни капацитет	640 Ј·кг-1·К-1
Сублиматион Температуре	2700℃
Отпорност на савијање	415 МПа РТ 4 тачке
Иоунгов модул	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
Топлотна проводљивост	300В·м-1·К-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10-6К-1