ВеТек Семицондуцтор има дугогодишње искуство у производњи висококвалитетних графитних дефлектора за лончиће са СиЦ пресвлаком. Имамо сопствену лабораторију за истраживање и развој материјала, можемо подржати ваше прилагођене дизајне са врхунским квалитетом. поздрављамо вас да посетите нашу фабрику за више дискусије.
ВеТек Семицондуцотр је професионални произвођач и добављач дефлектора за лончиће са графитним лонцима у Кини. Дефлектор графитног лончића обложен СиЦ је кључна компонента у опреми за монокристалне пећи, са задатком да глатко води растопљени материјал од лончића до зоне раста кристала, обезбеђујући квалитет и облик раста монокристала.
Контрола тока: Усмерава проток растопљеног силицијума током Цзоцхралски процеса, обезбеђујући уједначену дистрибуцију и контролисано кретање растопљеног силицијума како би се подстакао раст кристала.
Регулација температуре: Помаже да се регулише расподела температуре унутар растопљеног силицијума, обезбеђујући оптималне услове за раст кристала и минимизирајући температурне градијенте који могу утицати на квалитет монокристалног силицијума.
Спречавање контаминације: Контролисањем протока растопљеног силицијума, помаже у спречавању контаминације из лончића или других извора, одржавајући високу чистоћу потребну за апликације полупроводника.
Стабилност: Дефлектор доприноси стабилности процеса раста кристала тако што смањује турбуленцију и промовише сталан проток растопљеног силицијума, што је кључно за постизање униформних својстава кристала.
Олакшавање раста кристала: Контролисаним вођењем растопљеног силицијума, дефлектор олакшава раст једног кристала из растопљеног силицијума, што је неопходно за производњу висококвалитетних монокристалних силицијумских плочица које се користе у производњи полупроводника.
Физичка својства изостатског графита | ||
Имовина | Јединица | Типична вредност |
Спец.густина | г/цм³ | 1.83 |
Тврдоћа | ХСД | 58 |
Електрична отпорност | мΩ.м | 10 |
Отпорност на савијање | МПа | 47 |
Јачина притиска | МПа | 103 |
Затезна чврстоћа | МПа | 31 |
Иоунгов модул | Просек оцена | 11.8 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 10-6К-1 | 4.6 |
Топлотна проводљивост | В·м-1·К-1 | 130 |
Просечна величина зрна | μм | 8-10 |
Порозност | % | 10 |
Садржај пепела | ппм | ≤10 (након пречишћавања) |
Напомена: Пре премазивања, извршићемо прво пречишћавање, након премаза, друго пречишћавање.
Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке | |
Имовина | Типична вредност |
Кристална структура | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
Густина | 3,21 г/цм³ |
Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
Величине зрна | 2~10μм |
Хемијска чистоћа | 99,99995% |
Топлотни капацитет | 640 Ј·кг-1·К-1 |
Сублиматион Температуре | 2700℃ |
Отпорност на савијање | 415 МПа РТ 4 тачке |
Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
Топлотна проводљивост | 300В·м-1·К-1 |
Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6К-1 |