Подршка обложена СиЦ за ЛПЕ ПЕ2061С

VeTek Semiconductor is a leading SiC Coated Support for LPE PE2061S manufacturer and innovator in China.We have been specialized in SiC coating material for many years.We offer a SiC Coated Support for LPE PE2061S designed specifically for LPE silicon epitaxy reactor. This SiC Coated Support for LPE PE2061S is the bottom of barrel susceptor.It can withstand 1600 degrees Celsius high temperature, extend product life of graphite spare part.Welcome to send us inquiry.

Пошаљи упит

Опис производа

Висококвалитетни СиЦ Цоатед Суппорт за ЛПЕ ПЕ2061С нуди кинески произвођач ВеТек Семицондуцтор. Купите СиЦ Цоатед Суппорт за ЛПЕ ПЕ2061С који је високог квалитета директно по ниској цени.

ВеТеК Семицондуцтор СиЦ Цоатед Суппорт за ЛПЕ ПЕ2061С у опреми за силицијумску епитаксију, која се користи у комбинацији са бачвастим пријемником за подршку и држање епитаксијалних плоча (или супстрата) током процеса епитаксијалног раста.

Доња плоча се углавном користи са бачвастом епитаксијалном пећи, бачваста епитаксијална пећ има већу реакциону комору и већу ефикасност производње од равног епитаксијалног пријемника.

Носач има дизајн округле рупе и првенствено се користи за излаз издувних гасова унутар реактора.

ВеТеК Семицондуцтор СиЦ Цоатед Суппорт за ЛПЕ ПЕ2061С је за систем реактора течне фазе (ЛПЕ), са високом чистоћом, уједначеним премазом, стабилношћу на високим температурама, отпорношћу на корозију, великом тврдоћом, одличном топлотном проводљивошћу, ниским коефицијентом топлотног ширења и хемијском инертношћу .

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке
Имовина	Типична вредност
Кристална структура	ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана
Густина	3,21 г/цм³
Тврдоћа	2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење)
Величине зрна	2~10μм
Хемијска чистоћа	99,99995%
Топлотни капацитет	640 Ј·кг-1·К-1
Сублиматион Температуре	2700℃
Отпорност на савијање	415 МПа РТ 4 тачке
Иоунгов модул	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
Топлотна проводљивост	300В·м-1·К-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10-6К-1