2024-10-24
Силицијум карбидна керамика (СиЦ)је напредан керамички материјал који садржи силицијум и угљеник. Већ 1893. године, вештачки синтетисани СиЦ прах је почео да се масовно производи као абразив. Припремљена зрна силицијум карбида могу се синтеровати да би се формирала веома тврдакерамике, што је СиЦ керамика.
Структура СиЦ керамике
СиЦ керамика има одличне карактеристике високе тврдоће, високе чврстоће и отпорности на притисак, стабилности високе температуре, добре топлотне проводљивости, отпорности на корозију и ниског коефицијента експанзије. СиЦ керамика се тренутно широко користи у областима аутомобила, заштите животне средине, ваздухопловства, електронских информација, енергије итд., и постала је незаменљива важна компонента или кључни део у многим индустријским областима.
Тренутно је процес припреме силицијум карбидне керамике подељен нареакцијско синтеровање, синтеровање без притиска, топло пресовано синтеровањеирекристализационо синтеровање. Реакционо синтеровање има највеће тржиште и ниске трошкове производње; синтеровање без притиска има високу цену, али одличне перформансе; топло пресовано синтеровање има најбоље перформансе, али високу цену, и углавном се користи у областима високе прецизности као што су ваздухопловство и полупроводници; рекристализационо синтеровање производи порозне материјале са лошим перформансама. Због тога се СиЦ керамика која се користи у индустрији полупроводника често припрема топло пресованим синтеровањем.
Релативне предности и недостаци топло пресоване СиЦ керамике (ХПСЦ) у поређењу са осталих седам типова СиЦ:
Главна тржишта и перформансе СиЦ-а различитим производним методама
Припрема СиЦ керамике топло пресованим синтеровањем:
•Припрема сировина: Прашак силицијум карбида високе чистоће је одабран као сировина и претходно је третиран млевењем куглица, просијавањем и другим процесима како би се осигурало да је дистрибуција величине честица уједначена.
•Дизајн калупа: Дизајнирајте одговарајући калуп у складу са величином и обликом силицијум карбидне керамике коју треба припремити.
•Калуп пуњење и пресовање: Претходно обрађени прах силицијум карбида се ставља у калуп, а затим се пресује под условима високе температуре и високог притиска.
•Синтеровање и хлађење: Након што је пресовање завршено, калуп и обрада од силицијум карбида се стављају у високотемпературну пећ за синтеровање. Током процеса синтеровања, прах силицијум карбида постепено пролази кроз хемијску реакцију да би се формирало густо керамичко тело. Након синтеровања, производ се охлади на собну температуру коришћењем одговарајуће методе хлађења.
Концептуални дијаграм топло пресоване индукционе пећи од силицијум карбида:
• (1) вектор оптерећења хидрауличке пресе;
• (2) Челични клип за хидрауличну пресу;
• (3) хладњак;
• (4) Графитни клип за пренос оптерећења високе густине;
• (5) топло пресовани графит високе густине;
• (6) Графитна изолација пећи;
• (7) Непропусни поклопац пећи хлађен водом;
• (8) Водом хлађена бакарна индукциона цев завојница уграђена у херметички непропусни зид пећи;
• (9) изолациони слој од компримованих графитних плоча;
• (10) Непропусна пећ са воденим хлађењем;
• (11) носећа доња греда рама хидрауличке пресе која показује вектор реакције силе;
• (12) ХПСЦ керамичко тело
Топло пресована СиЦ керамика је:
• Висока чистоћа: 0,98% (монокристални СиЦ је 100% чист).
• Потпуно густ: 100% густина се лако постиже (монокристални СиЦ је 100% густ).
• Поликристални.
• Ултрафино зрнасто топло пресована микроструктура СИЦ керамике лако постиже 100% густину. Ово чини вруће пресовану СИЦ керамику супериорном у односу на све друге облике СиЦ, укључујући монокристални СиЦ и директно синтеровани СиЦ.
Стога, СиЦ керамика има супериорна својства која надмашују друге керамичке материјале.
У индустрији полупроводника, СиЦ керамика се широко користи, као што су брусни дискови од силицијум карбида за млевењенаполитанке, Крајњи ефекат за руковање плочицамаза транспорт вафла, и делова у реакционој комори опреме за термичку обраду итд.
СиЦ керамика игра огромну улогу у целој индустрији полупроводника, а уз континуирану надоградњу технологије полупроводника, заузимаће важнију позицију.
Сада су снижавање температуре синтеровања СиЦ керамике и проналажење нових и јефтиних производних процеса и даље фокус истраживања радника на материјалима. У исто време, истраживање и развој свих предности СиЦ керамике и од користи човечанству је примарни задатак ВеТек Семицондуцтор-а. Верујемо да ће СиЦ керамика имати широке изгледе за развој и примену.
Физичка својства ВеТек Семицондуцтор Синтеред Силицон Царбиде:
Имовина
Типична вредност
Хемијски састав
СиЦ>95%, Си<5%
Булк Денсити
>3,07 г/цм³
Привидна порозност
<0,1%
Модул руптуре на 20℃
270 МПа
Модул руптуре на 1200℃
290 МПа
Тврдоћа на 20 ℃
2400 Кг/мм²
Чврстоћа лома на 20%
3,3 МПа · м1/2
Топлотна проводљивост на 1200 ℃
45 в/м .К
Топлотна експанзија на 20-1200℃
4,51 ×10-6/℃
Мак.радна температура
1400℃
Отпорност на топлотни удар на 1200℃
Добро
ВеТек Семицондуцтор је професионални кинески произвођач и добављач Носач за чамце од СиЦ плочица високе чистоће, СиЦ конзолна лопатица високе чистоће, СиЦ конзолно весло, Брод за плочице од силицијум карбида, МОЦВД СиЦ премази Друга полупроводничка керамика. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредних решења за различите премазе за индустрију полупроводника.
Ако имате било каква питања или су вам потребни додатни детаљи,молимо не оклевајте да нас контактирате.
Моб/ВхатсАПП: +86-180 6922 0752
Е-пошта: анни@ветексеми.цом