Сусцептор за брзо термичко жарење

ВеТек Семицондуцтор Рапид Тхермал Аннеалинг Сусцептор је високог квалитета и дугог века трајања, добродошли да нас питате.

Рапид Тхермал Аннеал (РТА) је кључна подскупина брзе термичке обраде која се користи у производњи полупроводничких уређаја. То укључује загревање појединачних плочица да би се модификовала њихова електрична својства кроз различите циљане топлотне третмане. РТА процес омогућава активацију додатака, промену интерфејса супстрата филм-филм или филм-вафер, згушњавање депонованих филмова, модификацију стања израслог филма, поправку оштећења имплантације јона, померање допанта и кретање допанта између филмова или у подлогу вафла.

ВеТек Семицондуцтор производ, Рапид Тхермал Аннеалинг Сусцептор, игра виталну улогу у РТП процесу. Конструисан је од графитног материјала високе чистоће са заштитним премазом од инертног силицијум карбида (СиЦ). Силицијумски супстрат обложен СиЦ може да издржи температуре до 1100°Ц, обезбеђујући поуздане перформансе чак и у екстремним условима. СиЦ премаз пружа одличну заштиту од цурења гаса и осипања честица, обезбеђујући дуговечност производа.

Да би се одржала прецизна контрола температуре, чип је капсулиран између две графитне компоненте високе чистоће обложене СиЦ. Прецизна мерења температуре могу се добити преко интегрисаних високотемпературних сензора или термопарова у контакту са подлогом.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

ВеТек Семицондуцтор Продуцтион Схоп

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: