Порозни тантал карбид

ВеТек полупроводнички порозни тантал карбид (ТаЦ) је керамички материјал високих перформанси који комбинује својства тантала и угљеника. Његова порозна структура је веома погодна за специфичне примене у високим температурама и екстремним окружењима. ТаЦ комбинује одличну тврдоћу, термичку стабилност и хемијску отпорност, што га чини идеалним избором материјала за обраду полупроводника.

Порозни тантал карбид (ТаЦ) се састоји од тантала (Та) и угљеника (Ц), у којем тантал формира јаку хемијску везу са атомима угљеника, дајући материјалу изузетно високу издржљивост и отпорност на хабање. Порозна структура Пороус ТаЦ се ствара током процеса производње материјала, а порозност се може контролисати у складу са специфичним потребама примене. Овај производ обично производихемијско таложење паре (ЦВД)метода, обезбеђујући прецизну контролу његове величине и дистрибуције.

Молекуларна структура тантал карбида

ВеТек полупроводнички порозни тантал карбид (ТаЦ) има следеће карактеристике производа:

- Порозност: Порозна структура даје му различите функције у специфичним сценаријима примене, укључујући дифузију гаса, филтрацију или контролисано одвођење топлоте.

- Висока тачка топљења: Тантал карбид има изузетно високу тачку топљења од око 3.880°Ц, што је погодно за окружења са екстремно високим температурама.

- Одлична тврдоћа: Порозни ТаЦ има изузетно високу тврдоћу од око 9-10 по Мохсовој скали тврдоће, слично дијаманту. , и може издржати механичко хабање у екстремним условима.

- Термичка стабилност: Тантал карбид (ТаЦ) материјал може остати стабилан у окружењима са високим температурама и има јаку термичку стабилност, осигуравајући његове доследне перформансе у окружењима са високим температурама.

- Висока топлотна проводљивост: Упркос својој порозности, порозни тантал карбид и даље задржава добру топлотну проводљивост, обезбеђујући ефикасан пренос топлоте.

- Низак коефицијент топлотног ширења: Низак коефицијент термичке експанзије тантал карбида (ТаЦ) помаже материјалу да остане димензионално стабилан под значајним температурним флуктуацијама и смањује утицај топлотног напрезања.

Физичка својства ТаЦ превлаке：

У производњи полупроводника, порозни тантал карбид (ТаЦ) игра следећу специфичну кључну улогус:

У високотемпературним процесима као нпрплазма гравирањеи ЦВД, ВеТек полупроводник Порозни тантал карбид се често користи као заштитни премаз за опрему за обраду. То је због јаке отпорности на корозијуТаЦ Цоатинги његову стабилност на високим температурама. Ова својства обезбеђују да ефикасно штити површине изложене реактивним гасовима или екстремним температурама, чиме се обезбеђује нормална реакција високотемпературних процеса.

У процесима дифузије, порозни тантал карбид може послужити као ефикасна дифузиона баријера за спречавање мешања материјала у процесима на високим температурама. Ова карактеристика се често користи за контролу дифузије додатака у процесима као што су имплантација јона и контрола чистоће полупроводничких плочица.

Порозна структура ВеТек полупроводника Пороус Танталум Царбиде је веома погодна за окружења за обраду полупроводника која захтевају прецизну контролу протока гаса или филтрацију. У овом процесу, Порозни ТаЦ углавном игра улогу филтрације и дистрибуције гаса. Његова хемијска инертност осигурава да се током процеса филтрације не уносе загађивачи. Ово ефикасно гарантује чистоћу прерађеног производа.

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку: