Стезна глава за плочице од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор Силицон Царбиде Вафер Цхуцк користи одличне особине материјала од силицијум карбида да испуни строге захтеве производње полупроводника, посебно у обради полупроводника која захтева изузетно високу прецизност и поузданост.

У процесу обраде полупроводника,Силицон Царбидеима одличну отпорност на високе температуре (може радити стабилно до 1400°Ц), ниску проводљивост (СиЦ има релативно ниску проводљивост, обично 10^^-3С/м) и низак коефицијент топлотног ширења (око 4,0 × 10^^-6/°Ц), који је неопходан и важан материјал, посебно погодан за израду стезне главе од силицијум карбида.

Токомепитаксијални процес раста, танак слој полупроводничког материјала се наноси на подлогу, што захтева апсолутну стабилност плочице да би се обезбедили уједначени и висококвалитетни слојеви наношења филма. СиЦ вакуумска стезна глава то постиже стварањем чврстог, доследног вакуумског држања како би се спречило било какво померање или деформација плочице.

Стезна глава од силицијум карбида такође нуди одличну отпорност на термички удар. Брзе промене температуре су уобичајене у производњи полупроводника, а материјали који не могу да издрже ове флуктуације могу попуцати, савијати се или отказати. Силицијум карбид има низак коефицијент термичког ширења и може да задржи свој облик и функцију чак и под драстичним променама температуре, обезбеђујући да плочица остане сигурна током процеса епитаксије без померања или неусклађености.

Штавише, тхепроцес епитаксијечесто укључује реактивне гасове и друге корозивне хемикалије. Хемијска инертност СиЦ стезне главе осигурава да на њега не утичу ова оштра окружења, одржавајући његове перформансе и продужавајући век трајања. Ова хемијска издржљивост не само да смањује учесталост замене Вафер Цхуцк-а, већ такође обезбеђује доследне перформансе производа током више производних циклуса, помажући да се побољша укупна ефикасност и исплативост процеса производње полупроводника.

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач производа од силицијум карбидних плочица у Кини. Можемо да обезбедимо различите врсте Цхуцк производа као што суПорозни СиЦ керамички стезаљ, Порозни СиЦ вакуум стезна глава, Порозна керамичка вакуумска главаиТаЦ Цоатед Цхуцкитд. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредне технологије и решења производа за индустрију полупроводника. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

СЕМ ДАТА ОФ ЦВДСИЦ ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА：

ВеТек Семицондуцтор Силиц Царбиде Вафер Схопс：